[发明专利]红外光学材料微观缺陷检测装置及远红外显微镜头

权利要求书

1.一种红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，包括：

物料夹持调整单元(1)，用于夹持红外光学材料并且调整红外光学材料的位置；

红外成像单元(2)，位于所述物料夹持调整单元(1)的一侧，用于对红外光学材料聚焦成像；

红外光单元(3)，位于所述物料夹持调整单元(1)的另一侧，用于提供红外线；

支承单元(4)，用于支承所述物料夹持调整单元(1)、红外成像单元(2)和红外光单元(3)；

所述红外成像单元(2)包括所述远红外显微镜头(201)。

2.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，还包括位于所述物料夹持调整单元(1)和所述红外光单元(3)之间的可调光阑(5)，所述可调光阑(5)的光阑口径调节范围为5-80mm。

3.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，所述物料夹持调整单元(1)包括用于夹持红外光学材料的夹持台(101)、支承所述夹持台(101)的调整平台(102)以及安装在所述调整平台(102)上用于驱动所述调整平台(102)移动的调节旋钮(103)。

4.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，所述红外成像单元(2)还包括用于调节所述远红外显微镜头(201)的焦距的调焦手轮(202)、与所述远红外显微镜头(201)电连接的远红外探测器(203)。

5.根据权利要求4所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，所述远红外探测器(203)为640x480阵列式、像元间距17μm的长波红外非制冷型探测器。

6.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，所述红外光单元(3)包括用于提供红外线的红外光源(301)、用于调节所述红外光源(301)强度的红外光源强度调节旋钮(302)以及为所述红外光源(301)供电的电源(303)。

7.根据权利要求6所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，所述红外光源(301)为电加热板，所述电加热板可提供的温度范围为50-120℃。

8.根据权利要求6所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，所述支承单元(4)包括支承所述物料夹持调整单元(1)和所述红外光单元(3)的底座(401)、支承在所述底座(401)上的支架(402)，以及支承在所述支架(402)上并且能够沿着所述支架(402)往复移动用于支承所述红外成像单元(2)的支承架(403)。

9.根据权利要求8所述的红外光学材料微观缺陷检测装置，其特征在于，所述底座(401)具有用于安装所述红外光源(301)的凹槽(4011)；

所述红外光源强度调节旋钮(302)和所述电源(303)安装于所述底座(401)的侧面。

10.一种用于权利要求1至9中任一项所述的红外光学材料微观缺陷检测装置的远红外显微镜头(201)，其特征在于，包括：

沿着光轴从物侧至像侧依次排列的第一透镜(2011)、第二透镜(2012)、第三透镜(2013)和第四透镜(2014)；

所述第一透镜(2011)、所述第三透镜(2013)和所述第四透镜(2014)为锗系玻璃，所述第二透镜(2012)为硫系玻璃；

所述第一透镜(2011)和所述第三透镜(2013)的物侧面为球面、像侧面为非球面；

所述第三透镜(2013)的非球面具有衍射环带；

所述第二透镜(2012)和所述第四透镜(2014)的物侧面和像侧面均为球面。

11.一种如权利要求1至9中任一项所述的红外光学材料微观缺陷检测装置的检测方法，包括以下步骤：

a.将红外光学材料放置于夹持台(101)中，并保证红外光学材料与红外光源(301)和远红外显微镜头(201)平行；

b.接通电源(303)，通过红外光源强度调节旋钮(302)控制电流的大小来调节红外光源(301)能够辐射红外线的强度；

c.开启计算机视频软件，调节可调光阑(5)的口径和远红外显微镜头(201)的位置；

d.通过调节旋钮(103)调节红外光学材料的位置进行不同位置成像的具体检测。