[发明专利]铁镍合金荫罩及其制备方法

说明书

本申请公开了一种铁镍合金荫罩，其制备方法包括：提供一模板、电铸形成铁镍合金层、退膜、分离以及退火等步骤。制备完成的铁镍合金荫罩的含铁量高、热膨胀系数低，从而具有形状稳定性高、不易变形等特性，有助于提高重复利用率。

技术领域

本申请涉及有机发光二极管显示技术领域，具体涉及一种金属荫罩及其制备方法。

背景技术

OLED技术是下一代平板显示技术的有力竞争者,各大显示器生产厂商也陆续推出高分辨率，高清晰度的OLED显示屏。为了赶上这项技术的发展速度，满足不同的市场需求，因此，开发高精度，小孔径尺寸的掩模板技术显得尤为迫切和重要。

目前Ni或Ni-Co合金通常采用电铸的方式生产高精度的荫罩，但是，由于Ni或Ni-Co合金的热膨胀系数较高，约为13ppm/℃，因此在沉积电致发光材料的过程中温度较高，其形状稳定性较差容易产生变形，导致重复利用率低。而传统的铁镍合金，尤其是因瓦合金(Fe-36％Ni)的热膨胀系数很低，约为1-2ppm/℃。但目前此类金属荫罩的生产方式主要采用刻蚀因瓦金属箔带，厚度较厚，存在刻蚀区域精度差的问题。同时，高能耗，高成本等缺点制约其进一步发展。因此，亟需开发一种低成本，低能耗，高精度的荫罩生产方法。

发明内容

本申请的目的在于提供一种铁镍合金荫罩及其制备方法，用以解决生产成本高，能耗高，开口精度差等以及在高温下容易产生变形等问题。

为了解决上述问题，本申请提供了一种铁镍合金荫罩的制备方法，包括：提供一模板(可以是但不限于带有设计图形的基板)；电铸所述模板，在所述模板上形成铁镍合金层；退膜(去除感光膜)；将所述铁镍合金层自所述模板上分离；以及对所述铁镍合金层退火，获得所述铁镍合金荫罩等步骤。

本申请同时提供一种通过上述制备方法所制成的铁镍合金荫罩。

与现有技术相比，本申请可以获得包括以下技术效果：

本申请公开了一种铁镍合金荫罩及其制备方法，采用电铸的方法，在有精细图形的模板上制备铁镍合金金属荫罩。通过调节各项参数，可以获得铁含量40％-70％的铁镍合金荫罩，其热膨胀系数在4-10ppm/℃之间，并且在通过热处理后可以将热膨胀系数进一步降低到1-3ppm/℃。因此本申请可以获得低能耗、易于生产的高精度金属荫罩，其形状稳定性高、不易变形，有助于提高重复利用率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本申请实施例的方法流程图。

图2是本申请实施例的镍含量与热热膨胀系数的关系图。

具体实施方式

以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，藉此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。

如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要w还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其它变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者系统中还存在另外的相同要素。

实施例描述

本申请的一具体实施例提供一种铁镍合金荫罩的制备方法，其步骤包括：