[发明专利]一种铜锌锡硫光电薄膜的制备方法有效
| 申请号: | 201810204186.0 | 申请日: | 2018-03-13 |
| 公开(公告)号: | CN108615671B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
| 发明(设计)人: | 李倩;王丝玉;李林波;夏进;吴杰;黄文龙;杨强强 | 申请(专利权)人: | 西安建筑科技大学 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L31/032 |
| 代理公司: | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人: | 李郑建 |
| 地址: | 710055*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 铜锌锡硫 光电 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种铜锌锡硫光电薄膜的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
步骤1,将硫酸铜、硫酸锌、硫酸亚锡和氢氧化钠按照质量浓度比为2:1:1.5:1进行混合均匀,加入含有PVP的去离子水,在40~55℃下调节pH值为7~11,在该温度下静置1.5~2h,洗涤过滤分离得到复合沉淀;
步骤2,将复合沉淀真空干燥后在480~550℃下烧结0.5~2h,得到复合氧化物颗粒;
步骤3,将复合氧化物颗粒、乙醇、甲基纤维素和PVP混合球磨,得到复合氧化物纳米墨水;甲基纤维素的添加量为乙醇质量的0.2%~4%,PVP的添加量为乙醇质量的0.2%~4%;
步骤4,在预热后的钼基底上旋涂复合氧化物纳米墨水,旋涂温度为200~300℃,得到氧化物预制层薄膜;
步骤5,将氧化物预制层薄膜与硫粉置于管式炉中在520~600℃下保温时间0.5~1h,得到铜锌锡硫光电薄膜。
2.如权利要求1所述的铜锌锡硫光电薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤1中,硫酸铜的质量浓度为12~60g/L,硫酸锌的质量浓度为8~35g/L,硫酸亚锡的质量浓度为8~40g/L,氢氧化钠的质量浓度为10~35g/L。
3.如权利要求1所述的铜锌锡硫光电薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤1中,所述的PVP的添加量为去离子水质量的0.1%~2%。
4.如权利要求1所述的铜锌锡硫光电薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤3中,球磨工艺参数为:在400~750r/min下球磨4~8h。
5.如权利要求1所述的铜锌锡硫光电薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤4中,钼基底玻璃片的预热温度为30~60℃。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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