[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201810201666.1 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108663905A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬掩模 碳原子数 烷基 芳香族烃基 合成等价物 连接单元 耐蚀刻性 咔唑单元 缩聚物 溶剂 联苯 甲醛 | ||
【权利要求书】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含：
含有咔唑单元、联苯单元、和来源于甲醛或其合成等价物或者下述化学式3所表示的化合物中的至少一种的连接单元的缩聚物；及
溶剂，
化学式3
化学式3中，R2为碳原子数6～20的芳香族烃基，R3和R4各自独立地为氢、或碳原子数1～4的烷基。
2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述咔唑单元由下述化学式1表示：
化学式1
化学式1中，R1为氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数2～10的烯基、或碳原子数6～30的芳基。
3.根据权利要求2所述的硬掩模用组合物，R1为乙基、乙烯基或苯基。
4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述联苯单元来源于羟基联苯或二羟基联苯。
5.根据权利要求4所述的硬掩模用组合物，所述联苯单元包含下述化学式2-1～2-3所表示的结构中的至少一种：
化学式2-1
化学式2-2
化学式2-3
6.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式3所表示的化合物包含二苄醇。
7.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，组合物总重量中，包含所述缩聚物5～30重量％、及所述溶剂70～95重量％。
8.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，其进一步包含交联剂、催化剂和表面活性剂中的至少一种。
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