[发明专利]降温装置、密闭装置、真空机台以及真空腔室降温的方法在审
| 申请号： | 201810201628.6 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108447761A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张帆 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密闭容器 降温装置 密闭空间 真空腔室 机台 密闭装置 密闭罩 冷却气体 热交换 外围 间隔设置 快速降温 内壁 外壁 后排 进口 出口 | ||
1.一种降温装置，用于密闭容器的降温，其特征在于，包括设于所述密闭容器外围的密闭罩壳，所述密闭罩壳的至少一部分内壁与所述密闭容器的外壁间隔设置以形成密闭空间，且所述密闭空间与所述密闭罩壳上的进口以及出口相连通。
2.根据权利要求1所述的降温装置，其特征在于，所述降温装置还包括与所述进口连接的送风单元，所述送风单元设于所述密闭罩壳外，并用于将冷却气体通过所述进口抽入所述密闭空间。
3.根据权利要求2所述的降温装置，其特征在于，所述冷却气体为空气。
4.根据权利要求2所述的降温装置，其特征在于，所述送风单元为一鼓风机。
5.根据权利要求2所述的降温装置，其特征在于，所述送风单元具有进气口以及排气口，所述进气口连接进口管路，所述排气口连接所述密闭罩壳上的所述进口，且所述密闭罩壳上的所述出口连接出口管路；
其中所述进口管路和/或所述出口管路上设有阀门。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的降温装置，其特征在于，所述密闭容器的内部空间用于形成真空腔室。
7.根据权利要求1-5中任一项所述的降温装置，其特征在于，所述密闭罩壳的整个内壁与所述密闭容器的外壁间隔设置。
8.一种密闭装置，其特征在于，包括密闭容器以及如权利要求1-7中任一项所述的降温装置。
9.一种真空机台，包括密闭容器，所述密闭容器的内部空间用于形成真空腔室，其特征在于，所述真空机台还包括如权利要求1-7中任一项所述的降温装置。
10.一种真空腔室降温的方法，其特征在于，包括：
在提供真空腔室的密闭容器的外围构造一个密闭空间；
将冷却气体通入所述密闭空间，以使所述冷却气体流过所述密闭容器而完成热交换后排出。
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