[发明专利]应用于光电子封装的六自由度串并联混合驱动运动平台

权利要求书

1.一种六自由度串并联混合驱动运动平台，其特征在于，包括：

三自由度柔性并联子运动平台、单自由度旋转子运动平台和两自由度串联子运动平台；

所述单自由度旋转子运动平台设置于所述两自由度串联子运动平台的正上方，与所述两自由度串联子运动平台固定连接；

所述三自由度柔性并联子运动平台设置于所述单自由度旋转子运动平台的正上方，与所述单自由度旋转子运动平台固定连接；

所述三自由度柔性并联子运动平台包括动平台和三组相同的驱动机构；

每组驱动机构分别固定连接于所述单自由度旋转子运动平台上，且每组驱动机构的中心之间的连线呈正三角形；

每组驱动机构包括刚柔运动支链和驱动部件，所述刚柔运动支链包括柔性球面副、刚性连杆和柔性转动副，所述柔性球面副的第一端与所述动平台固定连接，所述柔性球面副的第二端与所述刚性连杆的第一端固定连接，所述柔性转动副的第一端与所述驱动部件固定连接，所述柔性转动副的第二端与所述刚性连杆的第二端固定连接；

所述动平台绕水平面旋转和/或沿竖直方向移动；

所述驱动部件包括滑动组件和固定支架，所述滑动组件包括第一滑动件和第二滑动件，所述第一滑动件和所述第二滑动件之间滑动连接，所述第一滑动件在竖直方向滑动；

所述第二滑动件与所述固定支架固定连接；

所述柔性转动副的第一端与所述第一滑动件固定连接；

所述固定支架固定连接于所述单自由度旋转子运动平台上；

所述驱动部件还包括压电陶瓷电机，所述压电陶瓷电机与所述固定支架固定连接，用于驱动所述第一滑动件；

所述驱动部件还包括光栅尺，所述光栅尺与所述固定支架固定连接，用于检测并反馈所述第一滑动件的行程；

所述驱动部件包括弹性件，所述弹性件设置于所述固定支架与所述第一滑动件之间；

所述柔性球面副包括第一连接座、球面副本体和第二连接座；

所述第一连接座设置在所述柔性球面副的第一端；

所述第二连接座设置在所述柔性球面副的第二端；

所述球面副本体呈圆柱形，从所述第一连接座向所述第二连接座方向，所述球面副本体的直径先保持不变，再逐渐减小，再逐渐增大，再保持不变；

所述柔性转动副包括第三连接座、转动副本体和第四连接座；

所述第三连接座设置在所述柔性转动副的第一端；

所述第四连接座设置在所述柔性转动副的第二端；

所述转动副本体呈板状；从所述第三连接座向所述第四连接座方向，所述转动副本体的厚度先保持不变，再逐渐减小，再逐渐增大，再保持不变，所述转动副本体的宽度先逐渐增大，再逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的六自由度串并联混合驱动运动平台，其特征在于，所述单自由度旋转子运动平台包括转动平台和力矩电机；

所述转动平台与所述力矩电机的转子固定连接；

所述力矩电机的定子设置于所述两自由度串联子运动平台的正上方，与所述两自由度串联子运动平台固定连接；

所述三自由度柔性并联子运动平台设置于所述转动平台的正上方，与所述转动平台固定连接。