[发明专利]液滴分注装置以及液滴分注方法

权利要求书

1.一种液滴分注装置，其特征在于，具备：

液滴喷射部，具有吐出溶液的喷嘴组，并且朝着接收液滴的微孔板喷射液滴；

不吐出状态检测部，当从所述液滴喷射部向所述微孔板滴下所述液滴的滴下动作时，检测从所述喷嘴组的一部分喷嘴的不吐出状态；以及

控制部，基于所述不吐出状态检测部的检测结果，控制对所述微孔板追加滴下所述液滴的追加动作，

所述不吐出状态检测部具有滴下量检测部，用于检测从所述喷嘴组向所述微孔板的一个开口部滴下的所述液滴的滴下量，

所述控制部基于所述滴下量检测部的检测结果，当在所述液滴的滴下动作时没检测到预先设定的规定量的所述液滴时，控制从所述液滴喷射部向所述微孔板追加滴下与不足所述规定量的所述液滴的不足量等量的所述液滴的追加动作，

所述滴下量检测部具有检测所述微孔板的重量的重量测量仪，

所述控制部根据对所述微孔板滴下所述液滴时由所述重量测量仪得到的所述微孔板的所述重量的初始实测值以及从所述初始实测值的检测时经过预定时间后的所述微孔板的所述重量的实测值，来检测由干燥导致的所述液滴的所述重量的减少值，并且在下一次的所述液滴的滴下处理时，当由所述重量测量仪得到的所述微孔板的所述重量的所述实测值小于由所述液滴的干燥导致的所述微孔板内所述液滴的重量的减少值时，判断为从所述喷嘴组的所述喷嘴的不吐出状态。

2.一种液滴分注装置，其特征在于，具备：

液滴喷射部，具有吐出溶液的喷嘴组，并且朝着接收液滴的微孔板喷射液滴；

不吐出状态检测部，当从所述液滴喷射部向所述微孔板滴下所述液滴的滴下动作时，检测从所述喷嘴组的一部分喷嘴的不吐出状态；以及

控制部，基于所述不吐出状态检测部的检测结果，控制对所述微孔板追加滴下所述液滴的追加动作，

所述不吐出状态检测部具有滴下量检测部，用于检测从所述喷嘴组向所述微孔板的一个开口部滴下的所述液滴的滴下量，

所述控制部基于所述滴下量检测部的检测结果，当在所述液滴的滴下动作时没检测到预先设定的规定量的所述液滴时，控制从所述液滴喷射部向所述微孔板追加滴下与不足所述规定量的所述液滴的不足量等量的所述液滴的追加动作，

所述滴下量检测部具有扫描器部，用于检测所述微孔板的透明度，

所述控制部根据对所述微孔板滴下所述液滴时由所述扫描器部得到的所述微孔板的所述透明度的初始实测值以及从所述初始实测值的检测时经过预定时间后的所述微孔板的所述透明度的实测值，来检测由干燥导致的所述液滴的所述透明度的减少值，并且在下一次的所述液滴的滴下处理时，当由所述扫描器部得到的所述微孔板的所述透明度的实测值小于所述减少值时，判断为从所述喷嘴组的所述喷嘴的不吐出状态。

3.根据权利要求1或2所述的液滴分注装置，其特征在于，

所述喷嘴组的喷嘴的数量设为a×b个，

所述不吐出状态的喷嘴的数量设为n个，

一个喷嘴的一次液滴滴下动作时的假定吐出量设为t，

吐出次数设为X1，追加次数设为X2，如果

不吐出量Y1为Y1＝t×n×X1，

追加量Y2为Y2＝t×(a×b-n)×X2，则

以使Y1-Y2的绝对值最小的方式选择次数X2以进行恢复，

其中，所述t的单位是pl。