[发明专利]一种阵列式风速风向传感器及其制作方法

权利要求书

1.阵列式风速风向传感器，其特征在于，包括扣合在一起的上盖(5)和支架(1)；

所述支架(1)上设有陶瓷电路板(3)，所述支架(1)的中心位置设有第二通气管(9)，所述陶瓷电路板(3)上设有多个热式敏感流量芯片(4)，多个热式敏感流量芯片成阵列结构，多个所述热式敏感流量芯片(4)设置的位置与上盖(5)上的多个通气孔(8)一一相对设置，所述热式敏感流量芯片(4)的第一通气管(6)从第二通气管(9)穿出，所述第二通气管(9)内设置的导线(10)与热式敏感流量芯片(4)连接；

所述热式敏感流量芯片至少为4个。

2.根据权利要求1所述阵列式风速风向传感器，其特征在于，所述热式敏感流量芯片(4)为MEMS热式敏感流量芯片。

3.根据权利要求1所述阵列式风速风向传感器，其特征在于，所述通气孔(8)设置在上盖(5)的侧壁上，所述通气孔(8)为若干个且均分分布，横截面为网状结构。

4.根据权利要求1或2所述阵列式风速风向传感器，其特征在于，所述支架(1)和陶瓷电路板(3)为圆型结构，所述热式敏感流量芯片(4)以圆型结构的圆心为基点按照相等角度均匀设置。

5.根据权利要求1所述阵列式风速风向传感器，其特征在于，所述热式敏感流量芯片(4)设置的数量为4个、8个、12个或16个，相应的，相邻的热式敏感流量芯片间隔角度为90°、45°、30°、22.5°。

6.根据权利要求1所述阵列式风速风向传感器，其特征在于，所述热式敏感流量芯片包括封装体(7)，所述封装体上设置有进气口(71)和第一通气管(6)，所述进气口(71)和第一通气管(6)与所述封装体内部的腔室连通；

所述封装体内部的腔室内设置有敏感元件(72)、电阻(73)和加热元件(74)，所述敏感元件(72)和电阻(73)电连接形成串联电路，所述串联电路的两端设置有电源引脚(75)，所述电源引脚(75)延伸出所述封装体外，所述敏感元件(72)和电阻(73)之间设置有输出引脚(76)，所述输出引脚(76)延伸出所述封装体外，所述加热元件的两端设置有加热引脚(77)，所述加热引脚(77)延伸出所述封装体外。