[发明专利]用于制造热电模块的方法在审
申请号: | 201810171601.7 | 申请日: | 2018-03-01 |
公开(公告)号: | CN108539003A | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 汉斯-海茵里希·安格曼 | 申请(专利权)人: | 马勒国际有限公司 |
主分类号: | H01L35/34 | 分类号: | H01L35/34 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 翟国明 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导体桥 侧基 接合装置 热电模块 热电元件 多层 粘接 绝缘层 放热化学反应 方式选择 放热反应 接合 电绝缘 电连接 优选 制造 释放 激发 响应 | ||
1.一种用于制造热电模块(1)的方法,
包括以下步骤:
a)布置多个热电元件(10),所述多个热电元件(10)彼此具有距离地布置,并且通过导体桥(2;2a;2b)在金属材料的热侧基底(3)与金属材料的冷侧基底(4)之间彼此电连接,
b)在至少一个所述导体桥(2;2a;2b),优选地在多个导体桥(2;2a;2b)与所述热侧和/或冷侧基底(3,4)之间设置多层反应的接合装置(7),
c)通过物质对物质的粘接将至少一个所述导体桥(2;2a;2b)分别与所述热侧或冷侧基底(3,4)接合,所述物质对物质的粘接通过至少部分地,优选地完全地使用响应于多层接合装置(7)中的放热化学反应的激发而释放的能量而实现,
其特征在于
以如下的方式选择设置在步骤b)中的所述反应的接合装置(7):在根据步骤c)的放热反应之后,其在所述导体桥(2;2a;2b)与所述热侧或冷侧基底(3,4)之间分别形成电绝缘的绝缘层(18)。
2.根据权利要求1所述的方法,
其特征在于
所述电绝缘的绝缘层(18)优选地至少部分地包括所述多层接合装置(7)的成分。
3.根据权利要求1或2所述的方法,
其特征在于
步骤c)中的激发通过反应的接合装置(7)上的优选的局部通电进行,优选地通过电学、光学或热通电,或通过提到的加压类型中的至少两种的结合进行。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法,
其特征在于
在步骤c)中产生的物质对物质的粘接(5)通过反应产物而形成,所述反应产物通过所述放热化学反应而从所述接合装置产生。
5.根据前面权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于
-通过向反应的接合装置(7)供给电点火脉冲而进行电学通电,
-通过将激光束供给到反应的接合装置(7)而进行光学通电,
-通过将火焰供给到反应的接合装置而进行热通电。
6.根据前面权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于
-反应的接合装置在每种情况下包括至少一个,优选地在每种情况下包括多个第一和第二单个层(8a,8b),其交替地布置在彼此的顶部,或者在每种情况下由多个,至少两个第一和第二单个层(8a,8b)组成,其交替地布置在彼此的顶部,
-第一单个层(8a)实现为碳化物或硼化物或氮化物或氧化物,并且包括以下元素中的至少一种:铜(Cu)、铁(Fe)或镍(Ni),
-第二单个层(8b)包括以下元素中的至少一种:铬(Cr)、钛(Ti)、铝(Al)、硅(Si)。
7.根据前面权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于
在步骤b)中,所述反应的接合装置(7)分别应用至至少一个导体桥(2;2a;2b)和/或热侧或冷侧基底(3,4)。
8.根据前面权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于
在步骤b)中,所述反应的接合装置(7)实现为多层薄膜(14),其以类似三明治的方式分别布置在至少一个导体桥(2;2a;2b)与热侧或冷侧基底(3,4)之间。
9.根据权利要求8所述的方法,
其特征在于
在接合至少一个所述导体桥(2;2a;2b)和冷侧基底(4)之前,将优选地包含锡(Sn)或由锡(Sn)组成的焊剂应用至薄膜。
10.根据前面权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于
在根据步骤c)的接合之前,在步骤b)中设置的反应的接合装置(7),优选地为多层薄膜(14),特别是关于其层厚和其材料成分方面以如下的方式实现:在根据步骤c)的接合过程之后,其具有具体的多于5×10-3Ohm×m的电阻(ρ),优选地多于5×10-2Ohm×m。
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