[发明专利]垂直多结硅光伏器件的电极引线及集成方法有效
申请号: | 201810165627.0 | 申请日: | 2018-02-28 |
公开(公告)号: | CN108400176B | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 张治国 | 申请(专利权)人: | 张治国 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0687;H01L31/18 |
代理公司: | 11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 吴家伟 |
地址: | 362000 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二极管阵列 硅光伏器件 多结 隔离线 敏感区 电极引线 垂直 电极金属层 最大固溶度 并联连接 欧姆接触 芯片隔离 电极 敷设 金属电 纵向线 遮挡 掺杂 | ||
1.一种垂直多结硅光伏器件的电极引线,其特征在于,包括:P区域和N区域,所述P区域和N区域形成PN相间的二极管阵列;所述PN相间的二极管阵列的纵向线阵列上设置有P型导电隔离线;所述P型导电隔离线通过掺杂形成;掺杂后形成的P型导电隔离线将芯片隔离成两个区域,分别为敏感区和用于敷设电极的区域;
其中,所述纵向为垂直于所述P区域和N区域的平行排布的方向;P型导电隔离线把所有的P区域连接起来;
所述垂直多结硅光伏器件的电极引线还包括N+区和P型电极引线区;所述N+区和P型电极引线区处覆盖有银铝浆;在一个单元的器件中,覆盖N+区的银铝浆是二极管负极,覆盖所述P型导电隔离线一侧的用于敷设电极的区域的银铝浆是二极管正极。
2.如权利要求1所述的垂直多结硅光伏器件的电极引线,其特征在于,所述P区域为凹槽。
3.一种垂直多结硅光伏器件的集成方法,其特征在于,所述垂直多结硅光伏器件包括如权利要求1-2任一项所述的垂直多结硅光伏器件的电极引线,包括:
将硅片进行备用处理;
将经过备用处理的硅片依次在镀膜机和烧结炉中进行加热处理,并进行清洗;
将清洗后的硅片放入热迁移掺杂炉,无铝表面温度1000℃,温度梯度100℃/cm;热迁移掺杂时间2.5小时,真空度3×10-4毫米汞柱;
将热迁移掺杂后的硅片作成形处理。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述将硅片进行备用处理的步骤具体为:
取厚800-1000μm,电阻率30-60Ωcm经过磨平工艺后的N型硅片备用;在砂轮划片机的电脑屏幕上设计出预设的图形;并标识出需要加工的区域;选用20μm厚砂轮片;按照预设的图形加工成20μm宽,40μm深的槽;将划好图形的硅片用自来水冲洗,用去离子水超声清洗5分钟两次,用无水乙醇超声清洗5分钟两次,用丙酮超声清洗5分钟,再用无水乙醇超声清洗5分钟,浸泡在乙醇溶液内备用。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述将经过备用处理的硅片依次在镀膜机和烧结炉中进行加热处理,并进行清洗的步骤具体为:
将经过备用处理的硅片放入镀膜机,槽面向下蒸镀高纯铝;硅片表面温度350℃;铝膜厚度20μm;待硅片温度降到低于100℃时取出硅片;
将所述硅片放入烧结炉中572℃,11分钟后取出硅片;
用平坦的油石磨去槽外的铝和2微米的硅;
用自来水冲洗后再用去离子水、无水乙醇、丙酮、无水乙醇分别超声清洗硅片2次10分钟,和一次5分钟、5分钟和5分钟。
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