[发明专利]自动分离薄膜装置与其使用方法在审
| 申请号: | 201810160703.9 | 申请日: | 2018-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN110193988A | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
| 发明(设计)人: | 强剑;朱鵬;曹磊 | 申请(专利权)人: | 川奇光电科技(扬州)有限公司 |
| 主分类号: | B32B38/10 | 分类号: | B32B38/10 |
| 代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇;李有财 |
| 地址: | 225009 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 承载平台 治具 撕膜机构 移动机构 薄膜分离 薄膜装置 影响作业 自动分离 工作台 激光镭射设备 基板 申请 辐射 健康 | ||
1.一种自动分离薄膜装置,其特征在于,包括:
机架,其具有工作台;
移动机构,其设置于所述工作台;
承载平台治具,其设置于所述移动机构;以及
撕膜机构,其设置于所述机架,并位于所述承载平台治具的上方。
2.根据权利要求1所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,所述移动机构包括滑轨座、滑座及马达,所述滑轨座设置于所述工作台,所述滑座设于所述滑轨座,所述马达通过螺杆连接所述滑座,并驱动所述滑座沿著所述滑轨座滑动,所述承载平台治具设置于所述滑座。
3.根据权利要求1所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,所述撕膜机构包括摇摆驱动装置、摇摆架、第一平台治具及粘接块,所述摇摆驱动装置设置于所述机架,并位于所述工作台的上方,所述摇摆架的一端连接所述摇摆驱动装置,所述第一平台治具设置于所述摇摆架的另一端,并位于所述承载平台治具的上方,所述粘接块设置于靠近所述承载平台治具的所述第一平台治具的一端。
4.根据权利要求3所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,所述摇摆驱动装置包括第一驱动组件及第二驱动组件,所述第一驱动组件及第二驱动组件连接所述摇摆架的一端并相对设置。
5.根据权利要求4所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,所述第一驱动组件包括二个第一滑轨、驱动马达、驱动螺杆及推块,所述二个第一滑轨相对设置并相互平行,所述驱动马达设置于所述二个第一滑轨间,所述驱动螺杆的一端连接所述驱动马达,所述推块设于所述二个第一滑轨,并连接所述驱动螺杆的另一端及所述摇摆架的一端。
6.根据权利要求5所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,所述第二驱动组件包括第二滑轨、驱动滑座、齿条、第一齿轮、第二齿轮及第三齿轮,所述第二滑轨设置于所述摇摆架的一侧,并与所述二个第一滑轨相对及相互平行,所述驱动滑座滑设于所述第二滑轨,并连接所述推块,所述齿条设置于所述驱动滑轨的上方,并与所述第二滑轨相互平行,所述第一齿轮连接所述驱动滑座,并与所述齿条相啮合,所述第二齿轮连接所述第一齿轮的轴部,所述第三齿轮连接所述摇摆架的一端,并与所述第二齿轮相啮合。
7.根据权利要求3所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,所述撕膜机构更包括气缸,所述气缸的一端枢接于所述第一平台治具,并位于所述第一平台治具的顶面上。
8.根据权利要求1项所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,更包括至少一个真空压力表,所述真空压力表显示所述承载平台治具的真空压力值。
9.根据权利要求1项所述的自动分离薄膜装置,其特征在于,更包括控制器及电性连接所述控制器的触摸屏,所述控制器连接所述移动机构及撕膜机构,并通过所述触摸屏控制所述移动机构及撕膜机构的作动。
10.一种如权利要求1所述的自动分离薄膜装置的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:
将贴附薄膜的基板设置于所述承载平台治具;以及
所述承载平台治具固定所述基板,所述移动机构带动所述承载平台治具往所述撕膜机构移动,所述承载平台治具带动所述基板往所述撕膜机构;
当所述承载平台治具带动所述基板至预定位置时,所述撕膜机构往所述承载平台治具靠近,所述薄膜的一端黏贴于所述撕膜机构,所述撕膜机构采用摆动方式带动所述薄膜,以将所述基板上的所述薄膜撕下。
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