[发明专利]一种物体表面平整度快速测量方法

权利要求书

1.一种物体表面平整度快速测量装置方法，其在于，包括以下步骤：

步骤a、调整被测物件(1-6)，使所述被测物件(1-6)上表面的某一位置位于所述物镜(1-4)的焦点位置，且要求限位凸起(2-9)位于运动块(2-3)中的劣弧通槽中的最低点，限位凸起(2-9)位于其运动轨迹的最低点；

步骤b、设定图像传感器(1-9)的成像时间t₁、非成像时间t₂和阈值t，其中，

L为所述运动块(2-3)中的劣弧通槽长度，ω为所述电机(2-6)的旋转角速度，r为所述运动块(2-3)中的劣弧通槽的半径，π为圆周率；

步骤c、调整图像传感器(1-9)的成像时间t₁与所述限位凸起(2-9)位于运动块(2-3)中的劣弧通槽中且运动块(2-3)静止的时间重合；

步骤d、转动电机(2-6)，使电机(2-6)完成N周转动，在限位凸起(2-9)位于运动块(2-3)中的劣弧通槽中且运动块(2-3)静止时，所述二维平移台(1-5)静止，在其余时间，在二维平移台(1-5)在水平面内运动；图像传感器(1-9)得到N个图像数据，分别为fig₁,fig₂,...,fig_N；

步骤e、从图像传感器(1-9)得到N个图像数据中找到最大值fig_max和最小值fig_min；

步骤f、对被测物件(1-6)上表面平整度进行评价，如果：

被测物件(1-6)上表面平整度不满足要求；

被测物件(1-6)上表面平整度不满足要求。