[发明专利]一种基于量子隧道效应的机械式光电开关

权利要求书

1.一种基于量子隧道效应的机械式光电开关，其特征在于：由两个机械耦合的机械悬臂梁组成，设定为主动悬臂梁和被动悬臂梁，所述主动悬臂梁和被动悬臂梁一端自由悬挂，另一端通过机械部件耦合，所述主动悬臂梁的末端有金属电极G，电极G左右两边设定有两个机械固定的电极S和D，在S和D之间一定的直流电压作用下，所述主动悬臂梁沿水平方向产生自激振荡，并发生量子隧道效应，并通过机械耦合部件，可以实现和被动悬臂梁之间发生光电信息交换，所述被动悬臂梁自由端制有微镜；

所述主/被动悬臂梁的长宽高均为：80纳米×10纳米×10纳米；

所述机械部件的长宽高为：1微米×50纳米×50纳米；

所述电极G、S和D尺寸相同，且长宽高约为5纳米×5纳米×5纳米。

2.根据权利要求1所述的一种基于量子隧道效应的机械式光电开关，其特征在于：采用的器件规格为：

(1)机械耦合参数：k_i＝0.002；

(2)初始电导：G_GS＝G_DG＝1×10^-10S、

(3)初始电容：C_GS＝C_DG＝1×10^-18F、C_GB＝1×10^-18F；

B-连接终端；G_GB-G-B之间等效电导；C_GB-G-B之间等效电容。