[发明专利]包括调谐谐振器的超声换能器系统、包括该系统的设备和提供该系统的方法

权利要求书

1.一种超声换能器系统，包括：

换能器安装结构；

换能器，其包括至少一个安装法兰，用于将所述换能器耦连到所述换能器安装结构；和

调谐型谐振器，所述调谐型谐振器集成于所述换能器安装结构和所述至少一个安装法兰中的至少一个；所述调谐型谐振器被调谐到所述换能器的工作频率以通过连续推离将要侵入所述工作频率的结构性谐振而提供主动振动吸收和隔离。

2.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器配置成吸收来自所述换能器安装结构的振动。

3.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器配置成将所述换能器安装结构的谐振频率移离所述换能器的工作频率。

4.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器耦连于所述换能器安装结构。

5.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器通过至少一个中间结构间接地耦连于所述换能器安装结构。

6.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器包括耦连于所述换能器安装结构的多个调谐型谐振器元件。

7.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器耦连于所述安装法兰。

8.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器通过至少一个中间结构间接地耦连于所述安装法兰。

9.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述换能器包括多个安装法兰，并且所述调谐型谐振器包括多个调谐型谐振器元件，所述多个调谐型谐振器元件中的每个耦连于所述多个安装法兰中相应的一个。

10.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器可被模型化为包括质量和弹簧，所述弹簧的谐振频率被调谐到预期的频率，特别是具有换能器工作频率。

11.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器通过从所述换能器安装结构移除材料而集成于所述换能器安装结构。

12.如权利要求1所述的超声换能器系统，其中，所述调谐型谐振器通过从所述至少一个安装法兰移除材料而集成于所述至少一个安装法兰。

13.一种焊线机，包括：

支撑结构，用于支撑工件，所述工件被配置成在焊线操作期间接纳线键合部；

焊线工具，其被配置成在工件上形成线键合部；和

超声换能器系统，用于承载所述焊线工具，所述超声换能器系统包括：(a)换能器安装结构，(b)换能器，其包括至少一个安装法兰，用于将换能器耦连到所述换能器安装结构，和(c)调谐型谐振器，所述调谐型谐振器集成于所述换能器安装结构和所述至少一个安装法兰中的至少一个；所述调谐型谐振器被调谐到所述换能器的工作频率以通过连续推离将要侵入所述工作频率的结构性谐振而提供主动振动吸收和隔离。

14.一种倒装芯片键合机，其包括：

支撑结构，用于支撑工件，所述工件被配置成在倒装芯片键合操作期间接纳半导体元件；

键合工具，其被配置成将半导体元件键合到基板；和

超声换能器系统，用于承载所述键合工具，所述超声换能器系统包括：(a)换能器安装结构，(b)换能器，其包括至少一个安装法兰，用于将换能器耦连到所述换能器安装结构，和(c)调谐型谐振器，所述调谐型谐振器集成于所述换能器安装结构和所述至少一个安装法兰中的至少一个；所述调谐型谐振器被调谐到所述换能器的工作频率以通过连续推离将要侵入所述工作频率的结构性谐振而提供主动振动吸收和隔离。