[发明专利]紧急停止装置及方法

说明书

本发明提供一种紧急停止装置及一种以拉动或推按金属丝的方式使设备在工作空间内的期望位置处快速停止的紧急停止方法，所述紧急停止装置包括：开关单元，装设在工作空间中，电连接到设备，且能够通过拉动进行操作；以及所述金属丝，设置在所述工作空间中以施加拉力，且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。

技术领域

本发明涉及一种紧急停止装置及方法、一种能够使设备在工作空间中的期望位置处快速停止的紧急停止装置及方法。

背景技术

用于制造半导体或显示元件的工艺中的每一者是在被设置成为对应工艺的进展提供最优条件的工艺设备中的每一者中执行。工艺设备的机制复杂且装设及操作昂贵。此外，工艺设备为停止操作而进行的调控工艺相当复杂。因此，此种工艺设备本质上包括用于紧急停止所述工艺设备的操作的紧急停止开关。

紧急停止开关可以简单且直观的结构装设在设备的主体中以使所述紧急停止开关尽可能快速地进行操作。

举例来说，以下专利文献1涉及一种紧急停止单元，所述紧急停止单元包括用于停止整个路线的开关及用于停止各别元件的开关以使工人可根据情况来操作所述开关。此外，专利文献2涉及一种紧急断开(emergency off，EMO)开关，所述EMO开关被配置成在其中多个推按按钮中的所有推按按钮被按压的状态中停止半导体制造装置的操作，由此防止工人出现错误操作。此外，专利文献3涉及一种紧急断开单元，所述紧急断开单元包括按钮盖以防止按钮被工人意外地按压。

然而，当工人的位置远离工艺设备的主体时，存在其中必须紧急停止所述工艺设备的操作的情况。根据专利文献1、2及3，当工人的位置远离工艺设备的主体时，紧急停止所述工艺设备的操作是不可能的。

以下专利文献4涉及一种紧急断开系统，所述紧急断开系统包括能够产生无线信号以停止工艺设备的操作的便携式EMO开关。根据专利文献4，在紧急情况中，工人可通过在任意位置处按压便携式EMO开关来停止工艺设备的操作。

然而，专利文献4中所公开的紧急断开系统具有以下不便：工人必须直接携带便携式EMO开关，且此外，工人应谨慎小心以免在所述工人调控工艺设备或携带所述便携式EMO开关的同时按压到所述便携式EMO开关。

(现有技术文献)

(专利文献)

(专利文献1)KR20-0464758 Y1

(专利文献2)KR10-2006-0012465 A

(专利文献3)KR10-2006-0108978 A

(专利文献4)KR10-2011-0038787 A

发明内容

本发明公开的实施例提供一种能够在不另外装设开关单元的条件下使设备在工作空间中的所有位置处快速停止的紧急停止装置及方法。

本发明公开的实施例还提供一种能够通过工人来快速地且轻易地调控的紧急停止装置及方法。

本发明公开的实施例还提供一种能够在紧急情况中通过工人来直观地调控的紧急停止装置及方法。

根据示例性实施例，一种紧急停止装置包括：开关单元，装设在工作空间中，电连接到设备，且能够通过拉动进行操作；以及金属丝，设置在所述工作空间中以施加拉力，且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。

所述开关单元可设有多个且彼此间隔开，且所述金属丝可连接在所述开关单元之间。

所述紧急停止装置还可包括虚拟单元，所述虚拟单元装设在所述工作空间中且与所述开关单元间隔开，且所述金属丝的另一侧以能够拆卸方式安装在所述虚拟单元上。