[发明专利]压电传感器制造方法及利用其的压电传感器

说明书

本发明提供一种压电传感器制造方法，本发明的压电传感器制造方法包括如下步骤：刻蚀半导体基板而形成包含多个凹槽的传感器阵列图案形式的模具；将压电材料注入所述凹槽并烧结；刻蚀半导体基板，以使压电材料突出，由此，形成传感器阵列图案形式的压电杆，并以在图案的一侧面突出第一区域的方式进行刻蚀；将绝缘材料填充至半导体基板而形成绝缘层；对绝缘层进行平坦化处理，直至压电材料露出时为止；在压电材料及绝缘层的第一面形成第一电极；在形成有第一电极的半导体基板上粘结工艺基板；对所述半导体基板的第二面进行平坦化处理，直至压电材料露出时为止；在压电材料的第二面形成第二电极；及刻蚀所述第一区域而露出所述第一电极。

技术领域

本发明涉及压电传感器制造方法及利用其的压电传感器，具体涉及一种压电传感器制造方法及利用其制造的压电传感器，将下部电极与上部电极按相同的方向露出而易于施加电极。

背景技术

用户认证称之为在进行所有金融交易时必需的顺序，尤其，最近，因网络及便携用终端设备的发展，对移动金融的关注增高，随之快速准确的用户认证装置、认证方式的需求响应增加。

另外，用户的指纹为满足上述需求的认证媒介中一个，大量经营者及开发人员连续研发运用用户的指纹而进行认证的装置及方式。

近来，与指纹识别装置相关，摆脱通过现有光学方式而认证了指纹的图像的方式，广泛进行产生超声波而掌握指纹的形式的所谓超声波方式的研究。

尤其，超声波压电传感器与现有的光学方式或静电容量方式相比，更强化安全性，因而，近来进行大量研究。

对于超声波压电传感器，在压电材料被施加电压时，压电材料发生振动，发生超声波并感应指纹。

对于现有的压电传感器，在施加电源所需的两个电极中的一个形成于压电传感器的上部，另一个形成于压电元件的下部。即，压电元件包括上部电极与下部电极。

当前按如此方式两个电极形成于相互不同的方向，由此，在施加电压方面存在了很多困难。

现有技术文献

【专利文献】

(专利文献1)韩国公开专利10-2016-00831(2016.07.12.公开)

发明的内容

发明要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种将上部电极与下部电极配置在同一方向的压电传感器制造方法。

并且，本发明的目的在于提供一种将上部极化电极与下部极化电极配置在同一方向的压电传感器制造方法。

用于解决问题的技术方案

本发明的实施例的压电传感器制造方法包括如下步骤：刻蚀半导体基板而形成包含多个凹槽的传感器阵列图案形式的模具；将压电材料注入所述凹槽并烧结；刻蚀半导体基板，以使所述压电材料突出，形成传感器阵列图案形式的压电杆(rod)，并以在所述图案的一侧面突出第一区域的方式进行刻蚀；将绝缘材料填充至所述半导体基板而形成绝缘层；对绝缘层进行平坦化处理，直至所述压电材料露出时为止；在所述压电材料及绝缘层的第一面形成第一电极；在形成有所述第一电极的半导体基板上粘结工艺基板；将所述半导体基板的第二面进行平坦化处理，以使所述压电材料露出时为止；在所述压电材料的第二面形成第二电极；及刻蚀所述第一区域而露出所述第一电极。

在本发明的实施例的压电传感器制造方法中，对于刻蚀半导体基板，以使所述压电材料突出，由此，形成传感器阵列图案形式的压电杆(rod)，并以在所述图案的一侧面突出第一区域的方式进行刻蚀的步骤，以在所述半导体基板的规定区域还突出第二区域及第三区域的方式进行刻蚀，对于刻蚀所述第一区域而露出所述第一电极的步骤，还对所述第二区域及第三区域进行刻蚀。