[发明专利]曲面盖板边缘曲率测量装置、测量系统及测量方法有效
申请号: | 201810147337.3 | 申请日: | 2018-02-12 |
公开(公告)号: | CN108398114B | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 蔡孟起 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;武岑飞 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曲面 盖板 边缘 曲率 测量 装置 系统 测量方法 | ||
1.一种曲面盖板边缘曲率测量装置,其特征在于,所述测量装置包括基板及柔性膜,所述柔性膜中植入有多个固定设置的距离传感器,所述距离传感器用于测量各距离传感器与基板之间的距离;
其中,当对曲面盖板的边缘曲率进行测量时,所述柔性膜用于直接放置于所述基板上,以获得各距离传感器与所述基板之间的初始距离,所述柔性膜还用于贴附于已直接放置于所述基板上的待测的曲面盖板上,以获得各距离传感器与所述基板之间的测量距离;
其中,所述测量距离和所述初始距离之差被拟合在二维坐标系中,从而根据所述二维坐标系中拟合到的曲线计算出所述曲面盖板边缘曲率。
2.根据权利要求1所述的曲面盖板边缘曲率测量装置,其特征在于,所述柔性膜中的距离传感器至少覆盖曲面盖板的边缘部分。
3.根据权利要求1所述的曲面盖板边缘曲率测量装置,其特征在于,所述柔性膜的杨氏模量小于或等于预设阈值。
4.根据权利要求1所述的曲面盖板边缘曲率测量装置,其特征在于,所述距离传感器设于柔性膜的底部。
5.根据权利要求1所述的曲面盖板边缘曲率测量装置,其特征在于,所述柔性膜包括中间区域及边缘区域,边缘区域中距离传感器的分布密度大于中间区域中距离传感器的分布密度。
6.一种曲面盖板边缘曲率测量系统,其特征在于,所述测量系统包括测量装置及数据处理单元,其中,
所述测量装置为权利要求1~5中任一项所述的测量装置;
所述数据处理单元用于计算所述测量距离与所述初始距离之差,并将计算的所述测量距离与所述初始距离之差拟合在二维坐标系中,并根据所述二维坐标系中拟合到的曲线计算出曲面盖板边缘曲率。
7.一种曲面盖板边缘曲率测量方法,其特征在于,所述测量方法包括:
S0、将植入有多个固定设置的距离传感器的柔性膜放置于基板上,获取各距离传感器与基板之间的初始距离;
S1、将待测曲面盖板置于基板上,植入有多个固定设置的距离传感器的柔性膜正面贴附于待测曲面盖板表面,获取各距离传感器与基板之间的测量距离;
S2、将测量距离与初始距离之差拟合在二维坐标系中,并根据所述二维坐标系中拟合到的曲线计算出所述曲面盖板边缘曲率。
8.根据权利要求7所述的曲面盖板边缘曲率测量方法,其特征在于,所述距离传感器与基板之间的初始距离均为0。
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