[发明专利]一种蒸镀冷却板

说明书

本发明公开了一种蒸镀冷却板，用于解决现有精细金属掩膜蒸镀贴合存在某区域褶皱，没有办法消除所有的褶皱的问题。本发明实施例冷却板设置有多个磁力单独可控的磁力单元，每个磁力单元上都设置有磁力单元一一对应的力学传感器，用于检测磁力单元对应位置的精细金属掩膜板贴合后对冷却板的作用力信息。还设有控制单元，其中，控制单元与各力学传感器和磁力单元连接，用于根据各力学传感器的反馈的作用力信息控制对应的磁力单元的磁力大小。在具体蒸镀贴合时，如果冷却板存在某区域褶皱，控制单元根据力学传感器的反馈，进而控制力学传感器对应的磁力单元的磁力大小。这种方式能够针对不同的区域褶皱施加不同的磁力，使每个区域褶皱都得到修复。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种蒸镀冷却板。

背景技术

平板显示包括LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)显示、OLED(OrganicLight-Emitting Diode，有机发光二极管)显示、PDP(Plasma Display Panel，等离子显示板)显示和电子墨水显示等多种。OLED显示具有轻薄，低功耗，高对比度，高色域，可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。

OLED显示包括PMOLED(Passive Matrix Organic Light-Emitting Diode，被动式有机电激发光二极管)和AMOLED(Active Matrix/Organic Light Emitting Diode，有源矩阵有机发光二极体面板)显示，其中AMOLED显示的实现方式有LTPS(Low TemperaturePoly-silicon，低温多晶硅技术)背板+FMM Mask(精细金属掩膜)方式，以及Oxide(氧化物)背板+WOLED(White Organic Light-Emtting Diode，白光有机发光二极管)+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应Monitor(监视器)和电视等应用。现在LTPS背板+精细金属掩膜的方式已经初步成熟，实现了量产。

精细金属掩膜模式，是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上，利用精细金属掩膜板上的图形，形成红绿蓝器件。而精细金属掩膜技术是其中的难点，蒸镀过程中，Cooling Plate是蒸镀时的冷却板，上方布有磁隔板起到施加磁力改善贴合的效果。

精细金属掩膜蒸镀贴合由于精细金属掩膜板张网后特性无法达到很好的延展性，从而贴合时总存在某区域褶皱，由于褶皱的存在，从而蒸镀时造成阴影偏大进而造成混色等不良。

现有技术对此的处理方式是，如图1a所示，在冷却板设置一个固态电磁铁10。但是由于每个区域褶皱600大小不一致，承受的磁力也不一致，所以无法使每一个褶皱都消除。

综上，现有精细金属掩膜蒸镀贴合存在某区域褶皱，没有办法消除所有的褶皱。

发明内容

本发明提供一种蒸镀冷却板，用以解决现有精细金属掩膜蒸镀贴合存在某区域褶皱，没有办法消除所有的褶皱的问题。

本发明实施例提供一种蒸镀冷却板，用于精细金属掩膜系统，包括：

冷却板；

设置于所述冷却板的多个磁力单独可控的磁力单元；

与所述磁力单元一一对应的力学传感器，每一对相互对应的力学传感器和磁力单元中，力学传感器用于检测磁力单元对应位置的精细金属掩膜板贴合后对冷却板的作用力信息；

控制单元，所述控制单元与各所述力学传感器以及磁力单元连接，用于根据各所述力学传感器的反馈的作用力信息控制对应的磁力单元的磁力大小。