[发明专利]微纳米光纤EFPI传感器F-P腔体制作装置及方法

权利要求书

1.一种微纳米光纤EFPI传感器F-P腔体制作装置，其特征在于，包括：激光扩束准直聚焦光路和传感器制作平台，

所述激光扩束准直聚焦光路由三部分组成，第一部分为二氧化碳激光器（1），作为焊接激光热源；第二部分由扩束准直镜（2）、扩束准直镜筒（3）、4个顶丝（4）组成，所述扩束准直镜（2）位于扩束准直镜筒（3）的前端，通过扩束准直镜筒（3）上的4个顶丝（4）来调节入射到反射镜（6）上的激光束位置和角度；第三部分包括竖直方向依次连接的微调机构（5）、反射镜（6）、第一聚焦透镜（7）、镜筒（8）、第二聚焦透镜（9）；所述反射镜（6）与水平线呈45°夹角；所述镜筒（8）开2个孔，分别放置两个焦距可替换的第一聚焦透镜（7）和第二聚焦透镜（9），用于调节激光光斑的大小，经聚焦后的激光光束光斑焦点位置保持不变；

所述传感器制作平台位于激光扩束准直聚焦光路的下方，由竖直旋转台（10）、水平旋转台（11）、L型支架（12）、直线滑台（13）组成；所述竖直旋转台（10）、水平旋转台（11）与直线滑台（13）依次固定在L型支架（12）上；其中，竖直旋转台（10）与水平旋转台（11）相互独立呈面垂直，竖直旋转台（10）与直线滑台（13）呈面平行；所述激光扩束准直聚焦光路将经过反射镜（6）和聚焦透镜整形后的光束作用于传感器制作平台上，对传感器进行激光熔接；所述竖直旋转台（10）表面有4个螺孔，呈中心对称分布，利用4个螺孔将夹具固定在竖直旋转台（10）的表面；所述二氧化碳激光器（1）发射出发散度为5mrad，尺寸为3.6mm的CO₂激光；所述激光扩束准直聚焦光路用于将一束发散的高斯激光束经由扩束准直镜（2）变为尺寸增大、发散角减小的平行激光束，再经由45°反射镜（6）变为竖直向下照射并且尺寸及发散角不变的激光光束，再经由第一聚焦透镜（7）和第二聚焦透镜（9）扩束准直聚焦为光斑直径最小为55微米的平行激光束。

2.根据权利要求1所述的一种微纳米光纤EFPI传感器F-P腔体制作装置，其特征在于，所述传感器制作平台用于膜片切割、膜片与毛细管熔接以及光纤与毛细管熔接的一体化集成制作。

3.根据权利要求1所述的一种微纳米光纤EFPI传感器F-P腔体制作装置，其特征在于，所述镜筒（8）中内置距离微调装置，用于对第一聚焦透镜（7）在竖直方向上进行距离微调，使激光聚焦光斑的空间在竖直方向高度调节。