[发明专利]一种薄膜测试加载单元

权利要求书

1.一种薄膜测试加载单元，包括基板、电机、涡轮蜗杆组件、夹持转台、以及紧固夹片，所述电机和涡轮蜗杆组件设置于基板上，涡轮蜗杆组件的蜗杆与电机输出轴连接并将电机输出的转动传递给涡轮，涡轮蜗杆组件的涡轮的一个侧面设置有扇形槽，夹持转台的竖直截面与该扇形槽截面形状相同使得夹持转台的一端可以插入到该槽中，以使涡轮带动夹持转台同步转动，紧固夹片将薄膜试样固定于夹持转台使得夹持转台可以带动薄膜试样转动。

2.如权利要求1所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述电机为步进电机。

3.如权利要求2所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述步进电机的最小角度分辨率为0.09°。

4.如权利要求1所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述扇形槽和/或夹持转台由可磁化的金属材料制成，使得所述扇形槽与夹持转台可以彼此吸引。

5.如权利要求4所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述扇形槽的竖直截面为中心角是45°的扇形。

6.如权利要求1所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述紧固夹片和夹持转台由可磁化的金属材料制成，使得所述紧固夹片与夹持转台可以彼此吸引。

7.如权利要求1所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述紧固夹片与夹持转台的接触面设置成锯齿状，锯齿的三条棱边与夹持转台的轴线平行，锯齿的倾斜角为45°。

8.如权利要求7所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述锯齿的高度为1～6mm。

9.如权利要求1至8中任一个所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述紧固夹片与夹持转台的接触面表面均设置有用于增加与薄膜试样之间摩擦力的缓冲层。

10.如权利要求9所述的薄膜测试加载单元，其特征在于，所述缓冲层由橡胶材料制成。