[发明专利]不锈钢蚀刻溶液及使用其的导光板模具元件的制造方法有效
申请号: | 201810140344.0 | 申请日: | 2018-02-11 |
公开(公告)号: | CN110144589B | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 戴雷雷 | 申请(专利权)人: | 扬昕科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23F1/28 | 分类号: | C23F1/28 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人: | 杨胜军 |
地址: | 215006 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 不锈钢 蚀刻 溶液 使用 导光板 模具 元件 制造 方法 | ||
1.一种不锈钢蚀刻溶液,其特征在于,用于对导光板模具元件进行蚀刻,所述不锈钢蚀刻溶液包括氯化铁、盐酸、硫脲、氯化亚铁以及硫氰化钠,
所述氯化铁含量为670~700g/L;
所述盐酸含量为11~22g/L;
所述硫脲含量为1~3g/L;
所述氯化亚铁含量为10~20g/L;
所述硫氰化钠含量为0.5~1g/L。
2.如权利要求1所述的不锈钢蚀刻溶液,其特征在于,所述不锈钢蚀刻溶液还包括苯并三氮唑,其含量为0.05~0.1g/L。
3.一种导光板模具元件的制造方法,其特征在于,包括:
于不锈钢板材的表面形成图案化光阻层;以及
使用如权利要求1~2任一项所述的不锈钢蚀刻溶液对所述不锈钢板材其中形成有所述图案化光阻层的所述表面进行蚀刻制程。
4.如权利要求3所述的导光板模具元件的制造方法,其特征在于,所述蚀刻制程中对所述不锈钢板材进行蚀刻的时间介于3~4分钟。
5.如权利要求3所述的导光板模具元件的制造方法,其特征在于,所述方法还包括:
在形成所述图案化光阻层之前对所述不锈钢板材进行清洗。
6.如权利要求3所述的导光板模具元件的制造方法,其特征在于,所述方法还包括:
在进行所述蚀刻制程之后去除所述图案化光阻层并清洗所述不锈钢板材。
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