[发明专利]纳米压印装置及利用纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法

说明书

本发明公开了一种纳米压印装置，包括压印外盒和安装于压印外盒内部的联动机构；所述压印外盒包括压印承载台和固定于压印承载台表面的支撑板和侧板；所述支撑板的表面固定有第一轴杆、第一卡条、第二轴杆和第二卡条；所述联动机构包括齿轮、连接滑块、第一连杆、第二连杆、连接条、第三连杆和压印机构，所述齿轮与连接滑块通过第一连杆相连，所述连接滑块与连接条通过第二连杆相连，所述连接条与压印机构通过第三连杆相连；本发明还公开了利用该纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法，包括熔融共混、挤压造粒、纳米压印等步骤。本发明在薄膜原料中添加复合抗菌剂、增塑剂，采用纳米压印技术，制得的薄膜在保持强度和韧性的同时具备良好的抗蚀性。

技术领域

本发明属于塑料薄膜制备技术领域，具体地，涉及一种纳米压印装置及利用纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法。

背景技术

纳米薄膜是指由尺寸为纳米数量级一至一百纳米的组元镶嵌于基体所形成的薄膜材料，它兼具传统复合材料和现代纳米材料二者的优越性。随着科技的发展，纳米薄膜被人们广泛的应用在各个领域。纳米薄膜及制备的各种元器件得到广泛应用，而根据实际工作的环境介质不同，例如不同气候环境(工业、近海工业、海洋)、湿热环境以及其它一些恶劣的环境等，因此需要提高薄膜在腐蚀环境介质中的耐腐蚀性以及长期使用的可靠性。

随着社会的进步，对压印技术的要求不断提高，纳米压印模板可制造具有几纳米到几百纳米特征的结构，尤其在半导体业、生物领域、电池行业等都具有广泛的应用。纳米压印(Nano-imprintLithography，NIL)技术突破了传统光刻在特征尺寸减小过程中的难题，具有分辨率高、低成本、高产率的特点。自1995年提出以来，纳米压印已经演变出了多种压印技术，广泛应用于半导体制造、微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)、生物芯片、生物医学等领域。NIL技术的基本思想是通过模版，将图形转移到相应的衬底上，转移的媒介通常是一层很薄的聚合物膜，通过热压或者辐照等方法使其结构硬化从而保留下转移的图形。

纳米压印技术既拥有大规模工业生产所必须的高产出率、低成本的优势，同时具备了电子束直写等技术才能达到的高分辨率。纳米压印制备的薄膜具备高性能，能够广泛应用于不同领域。

发明内容

基于上述背景技术，本发明提供一种利用纳米压印制备抗蚀性薄膜的方法及纳米压印装置，通过在薄膜原料中添加科学配比的复合抗菌剂、增塑剂和填料，采用纳米压印技术，使制得的薄膜在保持强度和韧性的同时具备良好的抗蚀性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种纳米压印装置，包括压印外盒和安装于压印外盒内部的联动机构；

所述压印外盒包括压印承载台、支撑板和侧板，所述支撑板和侧板均竖直固定于压印底板表面；

所述支撑板表面固定有第一轴杆、第一卡条、第二轴杆和第二卡条，所述第一轴杆安装于后板表面；

所述联动机构包括齿轮、连接滑块、第一连杆第二连杆、连接条、第三连杆和压印机构；

所述齿轮安装于第一轴杆表面，所述齿轮表面固定有第三轴杆；

所述滑块与第三轴杆之间通过第一连杆活动连接，所述滑块与压印机构之间通过第二连杆、连接条、第三连杆连接；

所述连接滑块活动安装于第一卡条表面；

所述压印机构包括凹形滑块、长凸条、第七轴杆和压印片，所述长凸条、第七轴杆和压印片均固定于凹形滑块表面。

进一步地，所述第一卡条和第二卡条的表面均开有条形凹槽，所述连接滑块侧表面固定有凸条，所述凸条与条形凹槽配合。

进一步地，两个第一卡条和两个第二卡条均相对设置。