[发明专利]太赫兹时域光谱仪有效
| 申请号: | 201810136377.8 | 申请日: | 2018-02-09 |
| 公开(公告)号: | CN109406441B | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
| 发明(设计)人: | 何坚兵;潘奕;丁庆 | 申请(专利权)人: | 雄安华讯方舟科技有限公司;深圳市太赫兹科技创新研究院 |
| 主分类号: | G01N21/3581 | 分类号: | G01N21/3581 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 易皎鹤 |
| 地址: | 071700 河北省保定市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 赫兹 时域 光谱仪 | ||
本发明涉及一种太赫兹时域光谱仪,包括:激光器;第一分光镜,将激光分为泵浦光和探测光;时间延迟设备,用于调节探测光相对于泵浦光的时间延迟;第二分光镜,用于将探测光分为第一探测光和第二探测光;第一太赫兹天线,在泵浦光的作用下发射第一太赫兹波,第一太赫兹天线还用于探测第一太赫兹波经由待测样品反射的太赫兹波和第一探测光;第二太赫兹天线用于探测第一太赫兹波经由待测样品透射的太赫兹波和第二探测光;第一处理模块,用于分析所述第一太赫兹天线测得的光谱信号;第二处理模块,用于分析所述第二太赫兹天线测得的光谱信号。上述太赫兹时域光谱仪可以仅用两个太赫兹天线测得待测样品的反射光谱和透射光谱,使用方便。
技术领域
本发明涉及光谱技术领域,特别涉及一种太赫兹时域光谱仪。
背景技术
太赫兹时域光谱仪可以通过测试待测样品的透射波或者测试待测样品的反射波两种方式来测试待测样品的特性。目前用的比较多的是透射模式,太赫兹波的优点是可以透过很多物质,更好的测试物质的指纹吸收谱。对于反射模式,可以用来测试样品的内部分层结构,对于不均匀的物体,其内部存在分层,会形成不同时延的反射脉冲。
对于目前的太赫兹时域光谱仪测试反射波和透射波需要更改光路或者使用三个太赫兹天线,导致太赫兹时域光谱仪比较复杂,使用不便。
发明内容
基于此,有必要针对测试反射波和透射波的太赫兹时域光谱仪比较复杂,使用不便的问题,提供一种太赫兹时域光谱仪。
一种太赫兹时域光谱仪,包括:
激光器,用于产生激光;
第一分光镜,用于将所述激光分为泵浦光和探测光;
时间延迟设备,设置于所述探测光的光路上,所述时间延迟设备用于调节所述探测光相对于所述泵浦光的时间延迟;
第二分光镜,用于将所述探测光分为第一探测光和第二探测光;
第一太赫兹天线,用于在所述泵浦光的作用下发射第一太赫兹波,并探测该第一太赫兹波被待测样品所反射的太赫兹波和所述第一探测光;
第二太赫兹天线,用于探测所述第一太赫兹波透射所述待测样品后的太赫兹波和所述第二探测光;
第一处理模块,用于根据所述第一太赫兹天线测得的光谱信号对所述待测样品进行反射信号分析;以及
第二处理模块,用于根据所述第二太赫兹天线测得的光谱信号对所述待测样品进行透射信号分析。
上述太赫兹时域光谱仪,由于第二分光镜将探测光分为第一探测光和第二探测光,且第一太赫兹天线可以接收到第一探测光,第二太赫兹天线可以接收到第二探测光。在第一太赫兹天线发射第一太赫兹波后,第二太赫兹天线能够接收到第一太赫兹波由待测样品透射的太赫兹波,第一太赫兹天线还可以接收由待测样品反射的太赫兹波。即第一太赫兹天线接收到待测样品反射的太赫兹波和第一探测光,第二太赫兹天线接收到待测样品透射的太赫兹波和第二探测光。第一处理模块处理第一太赫兹天线测得的光谱信号,得到反射光谱。第二处理模块处理第二太赫兹天线测得的光谱信号,得到透射光谱。因此,上述太赫兹光谱仪在设计好后,不需要更改光路或者增加太赫兹天线,就可以方便地测得待测样品的反射光谱和透射光谱,便于全面地分析待测样品的特性,结构简单,使用方便。
在其中一个实施例中,所述第二分光镜还将所述泵浦光分为第一泵浦光和第二泵浦光;所述第一太赫兹天线设置于所述第一泵浦光的光路上;所述第二太赫兹天线设置于所述第二泵浦光的光路上;所述太赫兹时域光谱仪还包括控制器,所述控制器控制所述第一太赫兹天线在所述第一泵浦光的作用下发射所述第一太赫兹波,并控制所述第二太赫兹天线不发射太赫兹波;或者,所述控制器控制所述第二太赫兹天线在所述第二泵浦光的作用下发射第二太赫兹波,并控制所述第一太赫兹天线不发射太赫兹波。
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