[发明专利]一种动态范围激光清洗方法

权利要求书

1.一种动态范围激光清洗方法，包括以下步骤：

采用位相预补偿轴向会聚光束像差分离的方式，对轴向光束整形，使得光束在十米距离内保持光束处于汇聚状态；

通过误差校正光束能量空间调控的方式，对基于折、衍射光束变换的光束能量进行空间调控，将光束整形为平顶方形均匀分布，在清洗过程中保持光束能量分布均匀；

对光束进行整形检测与参量修正，对位相调制数据进行离散化，通过整形-汇聚试验得到光束参数，根据光束整形后的输出，对光束参数进行迭代调整；

在整形过程中采用长焦深光束空间调控整形装置对光束整形，其中，输入参数焦深长度不小于10mm，光强均匀分布均方根不大于15%；

所述长焦深光束空间调控整形装置通过对激光光场输入、输出参量的调控、位相分割和位相预补偿，对能量守恒下光束长焦深位相补偿，通过误差校正后的激光广场空间光强分布的调制和衍射变换，使得聚焦后的光束方形均匀分布；

搭建基于液晶空间光调制的检测光路，检验模拟得到的整形位相数据的光束，建立空间输出光强分布与采样点数、输入输出面面积、间距的制约模型，修正采样点数、输入输出面面积、间距，从而调整方形均匀分布的聚焦光斑。

2.根据权利要求1所述的动态范围激光清洗方法，位相预补偿轴向会聚光束像差分离步骤为：测定微结构整形元件因光热效应引起的输出波前畸变，根据激光传输能量守恒，将轴向会聚光束进行像差分离，调控输入-输出振幅、位相参数，分割整形元件位相，保持长焦深范围内光束会聚状态。

3.根据权利要求1所述的动态范围激光清洗方法，误差校正光束能量空间调控步骤为：根据微结构整形元件设计和误差对输出光强分布的影响，通过误差校正达到快速收敛，根据位相设置迭代速率，对多阶位相进行离散逼近，使得方形光斑均匀分布。

4.根据权利要求1所述的动态范围激光清洗方法，对光束进行整形检测与参量修正步骤为：根据会聚-整形光路测量整形前后位相数据与光束参量变化，由测量的整形输出得到其与设计参量的关系，建立空间输出光强分布与采样点数、输入输出面面积、间距的制约模型。