[发明专利]一种确保多工位坐标正确的方法

说明书

本发明涉及一种确保多工位坐标正确的方法，在探针台上的产品配置提取某一个管芯A的XY坐标位置和绝对位置信息，通过管芯大小、与管芯A之间的间隔和XY递增方向推算出其的XY坐标位置，植入测试台进行测试，直到所有需要测试的管芯都测试完成。通过使用绝对坐标替换相对坐标，不再需要人工进行site相对位置的配置，避免了设置错误，而从已有的参数中获取有用的信息，通过绝对位置的计算得到绝对正确的XY坐标，确保了测试的准确性。

技术领域

本发明涉及一种测试技术，特别涉及一种确保多site坐标正确的方法。

背景技术

Site：在晶圆测试中代表同测晶圆的测试工位；XY坐标：晶圆上横轴和纵轴的具体位置，能定位到每个管芯；探针台：晶圆测试中完成自动移动晶圆的设备，并和测试机、工作站相连组成一套测试系统。

集成电路在晶圆测试阶段，只要测试机资源够用，尽量会用多site进行测试，提高测试效率，多site测试需要定义每个site与相邻site之间的相对位置，当第一个site的位置确定后，根据site之间的相对位置就可以推测出其他site的具体位置，从而算出每个site的XY坐标。

如图1所示现有多site晶圆测试流程图，选定探针台，即探针台的产品配置就已经确定，在现在实际过程中，先确定第一测试位置，其他晶圆以第一测试位置为准，根据针卡实际排列和探针台坐标系统对同测的其他晶圆进行人工配置文件，配置文件为同测的晶圆相对位置的文件，通过配置文件来让测试机知道多site之间的位置关系，开始测试后，通过配置文件算出每个site的XY坐标，写入芯片开始测试。由于配置文件要和探针台设置的坐标系相结合，所以配错文件的情况经常有，一旦配置文件出错，导致整个晶圆测下来XY坐标除了第一个site都是错的，导致测试数据错误，严重的导致芯片报废。

site相对位置需要人工配置，和探针台坐标系相结合，容易出错，首先需要根据针卡上多site的相对位置，然后再结合探针台坐标系，即XY坐标递增方向去推算出所有site的相对坐标，有一定技术含量，一旦理解不够或粗心就可能导致配置错误。

越来越多的产品由于要求追溯性问题，客户会将一些信息写入到芯片中，一旦写入后无法更改，将跟随芯片进入使用，追溯信息其中就有芯片实际XY坐标，所以确保XY坐标正确是非常重要的。

发明内容

本发明是针对现在晶圆测试中配置工位相对位置时容易出错，并且有些产品写入后无法更改的问题，提出了一种确保多工位坐标正确的方法，直接获取探针台上的管芯大小、管芯间隔、某个管芯的XY坐标和其绝对位置，然后在实际测试过程中通过获取管芯的绝对位置就可推算出所有管芯的XY坐标，这些所有参数都是在探针台可以直接获取到的，绝对不会出错，所以确保了数据的准确性。

本发明的技术方案为：一种确保多工位坐标正确的方法，在探针台上的产品配置中包含XY坐标最大最小的范围、XY坐标递增的方向、需要测试的管芯标识、管芯之间间隔多少、管芯大小、管芯的排列位置，先确定管芯A的XY坐标位置，查看在探针台中绝对位置，得到此管芯A在探针台绝对位置与XY坐标位置，开始测试，然后在管芯A测试时，获取下一个工位在探针台产品配置的绝对位置，通过管芯大小、与管芯A之间的间隔和XY递增方向推算出其XY坐标位置，植入测试台进行测试，直到所有需要测试的管芯都测试完成。

本发明的有益效果在于：本发明确保多工位坐标正确的方法，通过使用绝对位置替换相对坐标，不再需要人工进行site相对位置的配置，避免了设置错误，而从已有的参数中获取有用的信息，通过绝对位置的计算得到绝对正确的XY坐标，确保了测试的准确性。

附图说明

图1为现有多site晶圆测试流程图；

图2为本发明多site晶圆测试流程图。

具体实施方式