[发明专利]维护时期预测装置、流量控制装置及维护时期预测方法

说明书

本发明对流量控制装置及其相关设备所需要维护的时期进行预测。本发明的维护时期预测装置具备：阀开度获取部(3)，其获取在使用阀来控制流体的流量的流量控制中流体的流量被维持在预先规定的目标流量时的阀的开度；以及不可控制时间推断部(4)，其根据对阀的开度与流体的流量的关系加以近似而得的函数以及以预先规定的时间间隔获取的阀的开度的变化，推断变为无法将流体的流量维持在目标流量的不可控制状态为止的时间。

技术领域

本发明涉及一种对质量流量控制器等流量控制装置和过滤器等相关设备所需要维护的时期进行预测的技术。

背景技术

在半导体制造装置等中，为了将材料气体等以一定流量导入至真空腔室内，采用有图7所示那样的质量流量控制器等流量控制装置(参考专利文献1)。在图7中，100为主体块，101为传感器组件，102为传感器组件101的头部，103为搭载于头部102的流体传感器，104为阀，105为形成于主体块100的内部的流路，106为流路105的入口侧的开口，107为流路105的出口侧的开口。

流体从开口106流入至流路105并通过阀104而从开口107排出。流体传感器103测量在流路105中流动的流体的流量。质量流量控制器的未图示的控制电路以流体传感器103所测量出的流体的流量与设定值一致的方式驱动阀104。

当通过这种质量流量控制器来持续进行材料气体的流量控制时，材料气体中所含的成分的影响等有时会导致污物附着于质量流量控制器本身或者材料气体的流路上配备的过滤器等相关设备等而发生故障。

因此，提出一种以在质量流量控制器中内置的流体传感器的整个测定范围内只在容许精度范围内产生流量误差、压力误差的方式而操作、校正阀开度的装置(参考专利文献2)。

然而，专利文献2所公开的诊断机构虽然能够诊断流体传感器的测量值与实际的流量的误差是否是在精度上能够容许的程度，但存在无法预测何时需要校正等维护这一问题。在半导体制造装置等中，通过预测维护时期，容易进行运行管理，因此业界在寻求改善。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利特开2008-039588号公报

【专利文献2】日本专利第5931668号公报

发明内容

【发明要解决的问题】

本发明是为了解决上述问题而成，其目的在于提供一种能够对流量控制装置及其相关设备所需要维护的时期进行预测的维护时期预测装置、流量控制装置及维护时期预测方法。

【解决问题的技术手段】

本发明的维护时期预测装置的特征在于，具备：阀开度获取部，其构成为获取在使用阀来控制流体的流量的流量控制中所述流体的流量被维持在预先规定的目标流量时的所述阀的开度；以及不可控制时间推断部，其构成为根据对所述阀的开度与所述流体的流量的关系加以近似而得的函数以及以预先规定的时间间隔获取的所述阀的开度的变化，来推断变为无法将所述流体的流量维持在所述目标流量的不可控制状态为止的时间。

此外，本发明的维护时期预测装置的1构成例的特征在于，所述不可控制时间推断部推断由所述阀开度获取部获取的所述阀的开度达到上限为止的时间并作为变为所述不可控制状态为止的时间。

此外，本发明的维护时期预测装置的1构成例的特征在于，所述函数至少由与所述阀的开度有关的项和作为与该项相乘的数值的增益来加以定义，所述不可控制时间推断部根据假定所述增益随着时间的经过而减少时从所述函数获得的数式以及由所述阀开度获取部获取的所述阀的开度的变化来推断变为所述不可控制状态为止的时间。

此外，本发明的维护时期预测装置的1构成例的特征在于，所述函数是对所述阀的开度与所述流体的流量的非线性关系加以近似而得的函数，与所述阀的开度有关的项使用指数函数表示。