[发明专利]一种悬浮转子MEMS微陀螺在审
| 申请号： | 201810119583.8 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN110118548A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张平 | 申请（专利权）人： | 无锡芯盾传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/08 | 分类号： | G01C19/08;G01C19/02 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 转子 轴向悬浮电极 高速转动 悬浮转子 导电环 连接柱 上定子 微陀螺 径向悬浮电极 轴向检测电极 电荷驰豫 电压行波 定子表面 动能转化 稳定悬浮 悬浮电极 旋转电极 旋转电压 周边结构 转速检测 势能 低功耗 下定子 重量轻 动能 行波 滞后 | ||
1.一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：包括上定子(1)、下定子(4)、周边结构(2)、转子(3)、径向悬浮电极(5)、轴向悬浮电极(11)、导电环(10)、旋转电极(13)，所述上定子(1)上设置有所述轴向悬浮电极(11)，所述轴向悬浮电极(11)旁边内设置有轴向检测电极对(14)，所述轴向悬浮电极(11)上方设置有连接柱(12)，所述连接柱(12)上方设置有所述导电环(10)，所述导电环(10)内侧设置有所述旋转电极(13)，所述上定子(1)下方设置有所述转子(3)，所述转子(3)上设置有动能回收器(15)，所述动能回收器(15)下方设置有电荷驰豫层(7)，所述电荷驰豫层(7)下方设置有绝缘层(8)，所述绝缘层(8)下方设置有支撑层(9)，所述支撑层(9)下方设置有所述绝缘层(8)，所述绝缘层(8)下方设置有电荷驰豫层(7)，所述转子(3)外侧设置有所述周边结构(2)，所述周边结构(2)上设置有所述径向悬浮电极(5)，所述径向悬浮电极(5)旁边设置有径向检测电极对(6)，所述转子(3)下方设置有所述下定子(4)。
2.根据权利要求1所述的一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：所述上定子(1)与所述转子(3)通过电荷静电力相连接，所述下定子(4)与所述转子(3)通过电荷静电力相连接，所述转子(3)与所述周边结构(2)通过电荷静电力相连接。
3.根据权利要求1所述的一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：所述动能回收器(15)与所述电荷驰豫层(7)相粘接，所述电荷驰豫层(7)与绝缘层(8)相粘接。
4.根据权利要求1所述的一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：所述绝缘层(8)与所述支撑层(9)相粘接，所述电荷驰豫层(7)采用具有电荷驰豫作用的注硼掺杂多晶硅材料；所述绝缘层(8)采用SiO(2)绝缘材料；所述支撑层(9)采用强度较好及适合微细加工的Si材料。
5.根据权利要求1所述的一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：所述径向悬浮电极(5)之间间隔分布有所述径向检测电极对(6)，所述径向悬浮电极(5)共有四个，所述径向检测电极对(6)共有四个。
6.根据权利要求1所述的一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：所述轴向悬浮电极(11)之间间隔分布有所述轴向检测电极对(14)，所述轴向悬浮电极(11)共有四个，所述轴向检测电极对(14)共有四个。
7.根据权利要求1所述的一种悬浮转子MEMS微陀螺，其特征在于：所述旋转电极(13)与所述连接柱(12)通过焊接连接，所述连接柱(12)与所述导电环(10)通过焊接连接，所述导电环(10)向内直径依次减小。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡芯盾传感科技有限公司，未经无锡芯盾传感科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810119583.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
