[发明专利]一种可动机构锁紧结构及其安装方法和一种物镜有效
| 申请号: | 201810119505.8 | 申请日: | 2018-02-06 |
| 公开(公告)号: | CN110119013B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
| 发明(设计)人: | 王锋;彭云平 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02 |
| 代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 机构 结构 及其 安装 方法 物镜 | ||
本发明公开了一种可动机构锁紧结构及其安装方法和一种物镜,所述可动机构锁紧结构包括预压紧组件、限位组件、调节组件和锁紧组件,所述调节组件螺纹连接所述底面,所述限位组件套设在所述调节组件上,且架设在两所述第一台阶面上,所述镜座设置在所述限位组件上,所述预压紧组件设置在所述镜座上,且预紧所述第二台阶面和所述镜座,所述锁紧组件穿过所述限位组件锁紧所述调节组件。所述可动机构锁紧结构稳定性高,精度高。所述可动机构锁紧结构的安装方法简单快捷。本发明还公开了一种物镜。
技术领域
本发明涉及一种可动机构锁紧结构及其安装方法和一种物镜。
背景技术
投影物镜镜组间的位置关系影响到物镜的成像质量,由于镜片间位置关系有着非常苛刻的要求,目前仅以支撑机构加工精度来保证镜片间的位置精度是相当困难的。因此许多物镜中都设置位置补偿机构,以使得镜片间的位置能在一定精度范围内,从而确保了物镜的成像质量,而补偿机构的锁紧方法是本发明关注的重点。锁紧机构锁紧后既可以满足光学性能指标,又可承受7G冲击下镜片位移小于1μm的工况。
2011年1月14号申请的申请号为201110008295.3的中国专利公开了一种位置微调装置及应用其的物镜,安装在物镜上的所述位置微调装置通过将楔块的X向移动转变为顶块的Z向移动,而对镜座进行微调。该技术存在的缺陷是:1.结构有间隙,可动机构的稳定性差;2.机构调整到位锁紧后镜片位置发生变化,需反复调整,操作麻烦;3.由于结构存在间隙,导致机构稳定性差,在受到冲击的工况下,镜片的位置不能保证。
鉴于以上现有技术的缺点,提供一种精度高,调整操作性好,简捷且稳定可靠的锁紧机构十分必要的。
发明内容
本发明提供了一种可动机构锁紧结构及其安装方法和一种物镜,用以解决现有的锁紧机构精度低、稳定性低以及操作复杂的问题。
为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种可动机构锁紧结构,设置在物镜上,所述物镜包括镜筒、镜片和镜座,所述镜座承载镜片,所述可动机构锁紧结构将所述镜座固定连接在所述镜筒上。
所述镜筒的一侧边上设有若干凹槽,所述凹槽为倒凸字形,包括一底面、两个第一台阶面和两个第二台阶面。
所述可动机构锁紧结构包括预压紧组件、限位组件、调节组件和锁紧组件,所述调节组件螺纹连接所述底面,所述限位组件套设在所述调节组件上,且架设在两所述第一台阶面上,所述镜座设置在所述限位组件上,所述预压紧组件设置在所述镜座上,且预紧所述第二台阶面和所述镜座,所述锁紧组件穿过所述限位组件锁紧所述调节组件。
作为优选,所述调节组件包括调节螺钉组件和顶杆,所述调节螺钉组件螺纹连接所述底面,所述顶杆设置在所述调节螺钉组件上,所述限位组件套设在所述顶杆上。
作为优选,所述调节螺钉组件包括调节螺钉和调节手柄,所述调节螺钉一端螺纹连接所述底面,所述顶杆设置在所述调节螺钉另一端,所述调节螺钉的外壁上,沿着圆周方向均匀设有若干调节孔,所述调节手柄穿入所述调节孔,推动所述调节手柄沿着圆周运动,实现所述调节螺钉沿着螺纹方向移动。
作为优选,所述调节螺钉包括连接段和调节段,所述调节段螺纹连接所述底面,所述顶杆设置在所述连接段上,所述调节段的外壁上设有螺纹,所述底面上设有调节螺孔,所述调节段设置在所述调节螺孔内。
作为优选,所述预压紧组件包括端块和成对设置的预紧机构,所述端块上设有定位孔,所述端块两侧各设有端耳,所述端块设置在所述镜座上,所述镜座位于所述定位孔内,所述预紧机构均匀设置在所述端块两侧,所述预紧机构一端螺纹连接所述镜筒,另一端通过螺丝螺母固定连接所述端耳。
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