[发明专利]一种新型弧形VCSEL发光阵列、制作方法、控制系统和控制方法

权利要求书

1.一种新型弧形VCSEL发光阵列的制作方法，其特征在于,该制作方法包括：

采用激光束对曲面弧形基底上的所述VCSEL阵列单元表面上的电极层进行逐点扫描加工，得到新型弧形VCSEL发光阵列。

2.根据权利要求1所述的新型弧形VCSEL发光阵列的制作方法，其特征在于，所述采用激光束对曲面弧形基底上的所述VCSEL阵列单元表面上的电极层进行逐点扫描加工包括：

采用fs脉宽的激光光源发射的所述激光束依次经过聚焦透镜和激光扫描振镜后射在所述VCSEL阵列单元表面上，并对所述VCSEL阵列单元表面上的电极层进行逐点扫描，烧蚀掉所述VCSEL阵列单元表面上不用的电极层，得到所述新型弧形VCSEL发光阵列。

3.一种新型弧形VCSEL发光阵列，其特征在于，所述新型弧形VCSEL发光阵列采用如权利要求1或2所述的制作方法得到的。

4.一种基于新型弧形VCSEL发光阵列的控制系统，其特征在于,该控制系统包括：如权利要求3所述的新型弧形VCSEL发光阵列、微透镜阵列、逻辑控制电路；

在所述新型弧形VCSEL发光阵列的边沿上设置所述微透镜阵列，且由所述微透镜阵列排布成的弧面基准面与所述新型弧形VCSEL发光阵列的基底弧面同心；

所述新型弧形VCSEL发光阵列中的每个发光单元的电极分别与所述逻辑控制电路连接。

5.根据权利要求4所述的控制系统，其特征在于，所述微透镜阵列包括：多个微透镜。

6.根据权利要求5所述的控制系统，其特征在于，每个微反射镜分别与所述新型弧形VCSEL发光阵列中的每个发光单元一一对应，其中通过设置每个微反射镜不同的反射角度，每个发射单元发出的光与水平面垂直方向上呈预设角度的发射角。

7.根据权利要求4-6任一所述的控制系统，其特征在于，所述新型VCSEL发光阵列与所述反射镜阵列连接包括：

所述新型弧形VCSEL发光阵列通过粘接玻璃与所述微透镜阵列连接。

8.一种基于新型弧形VCSEL发光阵列的控制方法，其特征在于，该控制方法包括：

逻辑控制电路根据接收到的发光指令控制新型VCSEL发光阵列中发光单元的发光顺序；

根据所述发光顺序，分别设置每个微反射镜不同的反射角度，以使所述新型弧形VCSEL发光阵列中每个发射单元发出的光与水平面垂直的方向上呈预设角度的发射角。