[发明专利]直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法

权利要求书

1.一种直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法，其特征是：步骤如下：

步骤1：将一定重量的硅晶体原料加入到坩埚中融化，形成稳定流动的熔体；

步骤2：进行引细径操作，晶体直径为3-5mm、长度为200-300mm；

步骤3：进行放大，达到目标直径时，进行等径操作，直至晶体重量达到设定目标值时即坩埚内残留重量为总投料量的4%-15%，进入下一步操作；

步骤4：进行收尾操作，通入氩气，控制压力为1-10KPa，设置：0.5rpm＜晶转≤10rpm，埚转设置为0-15rpm，对晶体的生长速度和坩埚上升速度进行以下控制：

步骤4.1 晶体生长速度为0.15-0.55mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0.1-0.2倍，生长时间1－8min，晶体长度L＝0.15-6mm；

步骤4.2 晶体生长速度为0.05-0.25mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0.15-0.3倍，生长时间1-6min，晶体长度L＝0.05-2.7mm；

步骤4.3 晶体生长速度为0.1-0.40mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0.2-0.4倍，晶体生长时间1-10min，晶体长度L＝0.1-5.5mm；

步骤4.4 晶体生长速度设为0.15-0.55mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0.2-0.3倍，晶体生长时间1-8min，晶体长度L＝0.15-6mm；

步骤4.5 晶体生长速度为0.1-0.40mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0.02-0.03倍，晶体生长时间1-10min，晶体长度L＝0.1-5.5mm；

步骤4.6 晶体生长速度为0.05-0.22mm/min，坩埚上升速度为晶体生长速度的0-0.05倍，晶体生长时间为1-15min，晶体长度L＝0.05-4.5mm；

步骤4.7 晶体生长速度和坩埚上升速度为0mm/min，晶转速度以0.01-0.1转/min的速率下降,直至降到1转，晶体生长时间为29-123min；

步骤5：收尾结束，晶体脱离液体后，进入冷却环节，直至取出单晶。

2.根据权利要求1所述的直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法，其特征是：步骤4.1中晶体生长速度为0.15-0.35mm/min，步骤4.2中晶体生长速度为0.05-0.15mm/min，步骤4.3中晶体生长速度为0.1-0.25mm/min，步骤4.4 中晶体生长速度设为0.15-0.35mm/min，步骤4.5辊晶体生长速度为0.1-0.25mm/min，步骤4.6中晶体生长速度为0.05-0.13mm/min。

3.根据权利要求1所述的直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法，其特征是：步骤4.1～步骤4.4中氩气流速为100～200slpm；步骤4.5～步骤4.7中, 氩气流速为50～100slpm。

4.根据权利要求1所述的直拉法硅棒生产过程中快速收尾方法，其特征是：步骤4中控制压力为2-6KPa。