[发明专利]一种磁膜电感传感器有效
| 申请号： | 201810106533.6 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108387784B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 文玉梅;李平 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 孟旭彤 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电感 传感器 | ||
1.一种磁膜电感传感器，其特征在于：
两层磁性膜之间设置分裂式线圈，所述磁性膜上下完全覆盖所述分裂式线圈；
所述分裂式线圈整体为矩形螺旋平面结构，所述分裂式线圈在平行于其矩形长边方向的边均由一条导体组成，所述分裂式线圈在平行于其矩形短边方向的边均由平行且间隙不为零的若干条导体组成，所述若干条导体的宽度之和等于或者小于所述长边方向的所述一条导体的宽度，所述分裂式线圈的拐角处由所述一条导体和所述若干条导体连接；
所述磁性膜沿所述分裂式线圈的矩形长边方向的长度大于或者等于沿所述分裂式线圈的矩形短边方向的长度。
2.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述分裂式线圈从所述矩形螺旋中心顺时针或者逆时针螺旋。
3.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述分裂式线圈在平行于所述矩形长边方向的边均由一条导体组成，每条所述导体的宽度相等。
4.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述分裂式线圈在平行于所述矩形短边方向的边均由平行且间隙不为零的若干条导体组成，所述若干条导体的宽度相等。
5.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述分裂式线圈的所述矩形长边方向为传感器的敏感方向。
6.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述分裂式线圈通过溅射、镀膜、印刷和3D打印中的任意一种方式制作。
7.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述磁性膜为矩形，所述磁性膜矩形的长边平行于所述分裂式线圈矩形的长边，所述磁性膜矩形的短边平行于所述分裂式线圈矩形的短边。
8.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述磁性膜为椭圆形，所述磁性膜椭圆长轴平行于所述分裂式线圈矩形的长边，所述磁性膜椭圆短轴平行于所述分裂式线圈矩形的短边。
9.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述磁性膜沿所述分裂式线圈矩形长边方向的长度大于沿所述矩形短边方向的长度。
10.根据权利要求1所述的一种磁膜电感传感器，其特征在于，所述磁性膜采用软磁薄膜。
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