[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，其特征在于，具备：

框架；

工作台平台，相对于所述框架升降自如，并且在与升降方向交叉的面内方向上扩展；

可动工作台，搭载于所述工作台平台，并且在所述面内方向上移动自如；

曝光部，对载置于所述可动工作台的曝光对象照射光来进行曝光；

移动机，使所述可动工作台相对于所述工作台平台在所述面内方向上移动；

升降机，使搭载有所述可动工作台的所述工作台平台相对于所述框架升降；以及

减振器，与所述框架和所述工作台平台这两方相连，抑制所述工作台平台相对于所述框架的振动，

所述减振器具备：

容器，固定于所述框架与所述工作台平台中的一方，并在内部收容有粘性流体；以及

插入体，固定于相对于所述一方的另一方，所述插入体的一部分以不与所述容器的内壁接触的状态插入到所述粘性流体中。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

所述移动机具有多个移动部，该多个移动部分别对于包含在所述面内方向的彼此交叉的两个方向成分相互独立地使所述可动工作台移动，

所述插入体插入到所述粘性流体的部分是沿所述两个方向成分中的一方延伸的板部。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，

所述插入体的所述板部沿所述两个方向成分中的一方以及所述升降方向这两方延伸。

4.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，

所述容器具有多个收容槽，该多个收容槽分别收容所述粘性流体，并沿所述两个方向成分中的相对于所述一方的另一方排列，

所述插入体具有分别插入所述多个收容槽中的多个所述板部。

5.如权利要求1～4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

所述插入体插入所述粘性流体中的部分是沿通过所述减振器而被抑制的所述工作台平台的振动的方向延伸的板部。

6.如权利要求1～4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

所述粘性流体具有1000Pa·s以上的粘度。