[发明专利]一种检测消影等级的装置及其控制方法

权利要求书

1.一种检测消影等级的装置，其特征在于，包括：光源，位于所述光源的光学路径上的光学元件，光谱检测器，以及与所述光谱检测器电信号连接的控制器；其中，

所述光学元件，用于将所述光源出射的光线入射至待测基板的图案区，并将所述图案区的反射光入射至所述光谱检测器，以及将所述光源出射的光线入射至所述待测基板的沟道区，并将所述沟道区的反射光入射至所述光谱检测器；所述图案区为具有透明材料的区域；

所述光谱检测器，用于检测所述图案区的反射光的光坐标，并将所述图案区的反射光的光坐标发送至所述控制器，以及检测所述沟道区的反射光的光坐标，并将所述沟道区的反射光的光坐标发送至所述控制器；

所述控制器，用于接收所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，并根据所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，确定所述待测基板的消影等级；且所述控制器具体用于：

确定所述图案区的反射光的光坐标与所述沟道区的反射光的光坐标的差值；

将所述差值与预设的各消影等级对应的光坐标范围进行比较，确定所述差值对应的消影等级。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：图像采集器；

所述光学元件，用于将所述反射光分为第一光束和第二光束，并将所述第一光束入射至所述光谱检测器，以及将所述第二光束入射至所述图像采集器；

所述图像采集器，用于获取所述反射光的反射位置对应的部分所述待测基板的图像。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：位置控制器；

所述位置控制器与所述光学元件固定连接，用于移动所述光学元件。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述位置控制器，包括：用于控制所述光学元件的移动方向的按键。

5.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述光学元件，包括：第一半透半反镜，以及位于所述第一半透半反镜透射光路上的第二半透半反镜；

所述第一半透半反镜，用于将所述光源出射的光线入射至所述待测基板，并将所述待测基板的反射光入射至所述第二半透半反镜；

所述第二半透半反镜，用于将所述反射光分为第一光束和第二光束，并将所述第一光束入射至所述光谱检测器，以及将所述第二光束入射至所述图像采集器。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器，还用于根据接收的所述反射光的光坐标的大小，确定所述反射光的光坐标对应的区域为图案区还是沟道区。

7.一种如权利要求1~6任一项所述的检测消影等级的装置的控制方法，其特征在于，包括：

控制器接收图案区和沟道区的反射光的光坐标；

所述控制器根据所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，确定待测基板的消影等级。

8.如权利要求7所述的控制方法，其特征在于，所述控制器根据所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，确定待测基板的消影等级，具体包括：

所述控制器确定所述图案区的反射光的光坐标与所述沟道区的反射光的光坐标的差值；

所述控制器将所述差值与预设的各消影等级对应的光坐标范围进行比较，确定所述差值对应的消影等级。

9.如权利要求8所述的控制方法，其特征在于，还包括：

所述控制器根据接收的所述反射光的光坐标的大小，确定所述反射光的光坐标对应的区域为图案区还是沟道区。