[发明专利]一种基于先驱体陶瓷的摩擦阻力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于先驱体陶瓷的摩擦阻力传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

(1)将碳源与含Si-H键的聚硅聚合物混合均匀并在65～80℃的条件下保温10～20h，得到混合料；所述碳源选自由二乙烯基苯、乙烯基乙炔基苯和二乙炔基苯组成的组；所述混合是在真空条件下进行的；

(2)将步骤(1)得到的混合料进行固化，得到固化产物；所述固化包括初步固化和完全固化；初步固化是在空气气氛中进行的；完全固化是在惰性气氛中进行的；所述初步固化为将步骤(1)得到的混合料在120～130℃的条件下保温2～3h，得到初步固化产物；所述完全固化为将初步固化产物在350～450℃的条件下保温2～6h，得到固化产物；

(3)将步骤(2)得到的固化产物依次进行粉碎、研磨和过筛，得到固化产物的粉末，然后将所述粉末进行模压成型，得到悬臂梁先驱体；模压成型的压力为350～500MPa，保压时间为5～8min；

(4)将步骤(3)得到的悬臂梁先驱体进行烧结，制得先驱体陶瓷悬臂梁；和

(5)在步骤(4)制得的先驱体陶瓷悬臂梁的一端连接测量头，在步骤(4)制得的先驱体陶瓷悬臂梁除去先驱体陶瓷悬臂梁两端之外的任一位置连接电极，制得基于先驱体陶瓷的摩擦阻力传感器。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

步骤(4)中的烧结是在惰性气氛中进行的，所述惰性气氛为氩气气氛或氮气气氛。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：

所述惰性气氛为纯度为99.9％的氩气气氛。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

所述惰性气氛为氩气气氛或氮气气氛。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：

所述惰性气氛为纯度为99.9％的氩气气氛。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

在将悬臂梁先驱体进行烧结之前，先将碳粉覆盖在所述悬臂梁先驱体上再进行烧结。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

步骤(1)中的混合是在65～80℃的油浴条件下进行；

步骤(3)中的过筛采用150目筛网；

步骤(4)中烧结的温度为900～1200℃，烧结的时间为2～3h；和/或

步骤(5)中采用粘接剂进行连接；

所述粘接剂为金属浆料或液态的含Si-H键的聚硅聚合物。