[发明专利]一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法有效
| 申请号： | 201810095443.1 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108091732B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 罗敏;钱昊宇;夏炜炜;曾祥华;王强;王彩霞 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/101;H01L31/032;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 | 代理人： | 许必元 |
| 地址： | 225009 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 混合溶液 衬底 光电探测器 纳米片 自组装 光电响应 制备 等离子体清洗机 氨水 退火 可见光吸收 烘箱干燥 亲水处理 去离子水 首次合成 无水乙醇 异质结构 浸入 热蒸发 超声 水中 沉积 离子 合成 配置 制作 | ||
1.一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法，其特征是，包括以下步骤：
(1)使用尺寸FTO作为衬底，将FTO用等离子体清洗机亲水处理5～10分钟，FTO的尺寸为1cm×1cm；
(2)选取Cu(NO3)2粉末溶于去离子水中配置成0.12mol/L的Cu(NO3)2溶液，搅拌均匀后加入氨水，氨水与去离子水的比例为1:20，得到第一混合溶液；
(3)将经步骤(1)处理后的FTO浸入经步骤(2)得到的第一混合溶液，混合成第二混合溶液，将第二混合溶液在低温下自然热蒸发2～3小时，然后将第二混合溶液自然冷却至室温，把沉积上Cu(OH)2的FTO用去离子水与无水乙醇混合溶液超声后置于烘箱干燥，得到干燥后的FTO；
(4)将干燥后的FTO置于马弗炉中退火，得到FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器。
2.根据权利要求1所述的一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法，其特征是，步骤(3)中，去离子水与无水乙醇混合溶液中，去离子水与无水乙醇配比为1:1。
3.根据权利要求1所述的一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法，其特征是，步骤(3)中，烘箱内的温度为60℃。
4.根据权利要求1所述的一种FTO衬底上自组装CuO纳米片的可见光电探测器的制备方法，其特征是，步骤(4)中，干燥后的FTO在马弗炉中退火时间为1小时。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
