[发明专利]一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法

权利要求书

1.一种玻璃毛细管中加工微结构的变形矫正方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)打开微加工工作台，设计待制备的微结构的形状和尺寸并保存至结构库中；

(2)通过仿真软件对上述设计的微结构进行实际建模并仿真，同时仿真出飞秒激光光束聚焦位置并计算仿真的微结构的尺寸，具体包括以下步骤：根据所述毛细管的实际尺寸、上述微结构的实际尺寸及飞秒激光器发射的飞秒激光双光子光束参数，利用上述仿真软件的几何光学模块依据光束入射球形截面进行实际建模并仿真；

(3)将步骤(2)中测得的仿真微结构的尺寸与待制备的微结构进行比较，拟合出微结构沿毛细管径向的变形趋势，根据该变形趋势将待制备的微结构中沿毛细管径向方向的线条进行相应的补偿变化，得出矫正后的线条尺寸，将经矫正后的线条尺寸代入待制备的微结构中；

(4)打开飞秒激光器，将飞秒激光器锁模后导入到微加工工作台中，将内部注满光刻胶的玻璃毛细管横向固定于微加工工作台的三维移动平台上并进行对焦，该对焦包括以下过程：控制三维移动平台水平移动而调节玻璃毛细管的高度和位置，并通过正上方的CCD摄像机观察直到发现明暗突变的边界位置，将玻璃毛细管往延伸较深的方向水平移动，直至发现另一明暗突变的边界，取该水平移动的距离的一半，使玻璃毛细管从另一明暗边界处往中间水平移动，此时飞秒激光的焦点落在玻璃毛细管的水平宽度的正中心位置；移动三维移动平台调节玻璃毛细管的高度，使玻璃毛细管升高或降低，运行软件进行光刻，使光刻刻痕刚好出现在毛细管内径的上表面，完成对焦；

(5)完成对焦后，提取控制软件设计并保存矫正好的微结构，用飞秒激光器对该微结构进行光刻，且在光刻时，在玻璃毛细管管壁中央，从玻璃毛细管内上管壁开始进行光刻。