[发明专利]物品保持装置

说明书

本发明涉及一种物品保持装置，该物品保持装置能够降低在保持布料等片状的物品时在保持的过程中物品相对于装置的位置发生偏移的可能性。物品保持装置具有基部、流路部和抑制构件。基部在下表面具有能够保持片状的物品的保持部。流路设于基部，流路与设于保持部的孔相连通。物品保持装置通过使被供给到流路中的流体从孔排出，从而使保持部与物品之间产生负压，利用该负压吸附物品来保持该物品。抑制构件设于保持部，抑制构件能够通过与保持部所保持的物品相接触，来抑制物品相对于保持部的位置发生偏移。

技术领域

本发明涉及一种物品保持装置。

背景技术

以往，有一种装置，其通过非接触式吸附半导体晶圆等较薄的面状零件来保持该面状零件。日本特许公开2012年第40621号公报所述的装置具有基体。基体在下表面具有凹部，在凹部设有能够使流体(空气)排出的流体排出部。凹部的周围是非接触式吸附部。该装置使流体排出部排出的流体经过非接触式吸附部，在装置与物品之间产生负压，利用该负压非接触式吸附物品来保持该物品。现有装置在保持布料等柔软的片状的物品时，是通过以非接触的方式进行吸附来保持的，因此，存在下述可能性：在保持的过程中，物品相对于非接触式吸附部的位置发生偏移。当物品相对于非接触式吸附部的位置发生偏移时，存在下述可能性：装置无法适当地将物品输送到输送目的地。

发明内容

本发明的目的在于提供一种物品保持装置，该物品保持装置能够降低在保持布料等片状的物品时在保持的过程中物品相对于装置的位置发生偏移的可能性。

技术方案1的物品保持装置具有：基部，其在下表面具有能够保持片状的物品的保持部；流路，其设于所述基部，该流路与设于所述保持部的孔相连通；及控制部，其能够控制所述流体向所述流路的供给，通过使在所述控制部的控制下被供给到所述流路中的流体从所述孔排出，从而使所述保持部与所述物品之间产生负压，利用该负压吸附所述物品来保持所述物品，该物品保持装置的特征在于，该物品保持装置具有抑制构件，该抑制构件设于所述保持部，该抑制构件能够通过与所述保持部所保持的所述物品相接触，来抑制所述物品向沿着所述保持部的方向移动。物品保持装置具有抑制构件，因此，物品保持装置能够抑制由保持部保持的物品相对于保持部发生位置偏移。

也可以是，技术方案2的物品保持装置的多个所述抑制构件以使所述孔位于多个所述抑制构件之间的方式在与水平面平行的方向上相对配置。在该物品保持装置中，抑制构件以使孔位于抑制构件之间的方式相对配置，因此，与抑制构件处于孔的一侧的装置相比以及与抑制构件为一个的装置相比，该物品保持装置能够更可靠地抑制由保持部保持的物品相对于保持部发生位置偏移。

也可以是，技术方案3的物品保持装置还具有驱动部，该驱动部能够使所述抑制构件在突出位置与退避位置之间移动，突出位置是所述抑制构件从所述保持部向下方突出时所在的位置，退避位置是所述抑制构件退到比所述保持部靠上方处时所在的位置。该物品保持装置能够利用驱动部使抑制构件的位置在突出位置与退避位置之间进行切换。物品保持装置通过使抑制构件从突出位置切换到退避位置，能够防止在解除对物品的保持时抑制构件成为障碍。

也可以是，技术方案4的物品保持装置的所述抑制构件是针，所述抑制构件在处于所述突出位置时，从所述保持部向下方突出。该物品保持装置能够使从保持部向下方突出的针刺入物品，因此，能够抑制由保持部保持的物品相对于保持部发生偏移。

也可以是，技术方案5、6的物品保持装置的所述控制部能够控制所述驱动部的驱动以及所述流体向所述流路的供给，在向所述流路供给所述流体的期间里，使所述抑制构件向所述突出位置移动，在不向所述流路供给所述流体的期间里，使所述抑制构件向所述退避位置移动。该物品保持装置的控制部能够与是否向流路供给流体相应地，利用驱动部自动地控制抑制构件的位置。该物品保持装置能够同时进行对流体向流路的供给的控制和对抑制构件的位置的控制，与分开进行上述两种控制的装置相比，该物品保持装置较容易进行控制。