[发明专利]透明材料内部集成三维导电金属微纳结构的方法在审
| 申请号： | 201810093296.4 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108394856A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 程亚;徐剑;敬承斌;钟熠;李晓龙 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电金属 透明材料 微纳结构 内部集成 三维 飞秒激光微加工 高技术领域 光电子器件 三维微通道 微电子器件 表面改性 尺寸可调 电机系统 高电导率 化学镀液 金属沉积 空间形状 连续传输 高熔点 集成型 蠕动泵 微通道 制备 应用 制造 | ||
1.一种透明材料内部集成三维导电金属微纳结构的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：
步骤1：飞秒激光辐照
将透明材料样品固定在一台三维可计算机编程位移平台上，通过显微物镜将飞秒激光聚焦在所述的透明材料样品上，按计算机编程驱动位移平台运动同时启动飞秒激光辐照过程，在所述的透明材料样品中直写出所需要的三维微通道图案；
步骤2：化学腐蚀
将飞秒激光辐照后的透明材料样品放入化学腐蚀溶液中，对所述的三维微通道图案进行化学腐蚀，进而在透明材料样品内部获得具有三维几何构型的微通道结构；
步骤3：连续流动化学镀
采用蠕动泵先将化学镀敏化活化液以1-100 ml/min的流速连续输送通过上述微通道结构对通道内表面进行敏化活化，然后再将化学镀液以1-100 ml/min的流速连续输送通过上述微通道内部以实现金属微纳薄膜的快速沉积，进而实现在透明材料内部集成三维导电金属微纳结构。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的透明材料样品为玻璃、晶体或透明聚合物。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述化学腐蚀溶液为2%-20%的HF水溶液或5-20 mol/L、温度为80-90℃ 的KOH水溶液。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述化学镀敏化活化液为SnCl2-HCl混合溶液或SnCl2-PdCl2-HCl混合溶液；其中，所述SnCl2-HCl混合溶液为0.05-30 g/L 的SnCl2溶液和0.5-300 ml/L的HCl溶液混合，体积比为1：1；所述SnCl2-PdCl2-HCl混合溶液为0.05-30g/L 的SnCl2溶液、0.05-3 g/L 的PdCl2溶液和0.5-300 ml/L的 HCl溶液混合，体积比为1：1：1。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的三维导电金属微纳结构为三维银、铜、金、铂或镍微纳结构。
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