[发明专利]磁控溅射设备及其遮挡板组件

权利要求书

1.一种遮挡板组件，包括相互搭接的第一遮挡板和第二遮挡板，其特征在于，所述第一遮挡板和所述第二遮挡板设置为弧形结构，所述第一遮挡板的圆心与所述第二遮挡板的圆心分别设置于所述遮挡板组件的两侧；

所述遮挡板组件还包括滚珠组件，所述滚珠组件设置于所述第一遮挡板和所述第二遮挡板的搭接位置，所述滚珠组件设置于所述第一遮挡板和所述第二遮挡板两者中的一者上，所述滚珠组件的滚珠朝向所述第一遮挡板和所述第二遮挡板两者中的另一者的搭接面。

2.如权利要求1所述的遮挡板组件，其特征在于，所述第一遮挡板具有第一弧度，所述第一弧度为0.7π-0.9π，所述第一遮挡板的弧长为0.3-0.5m，以及/或者所述第二遮挡板具有第二弧度，所述第二弧度为0.7π-0.9π，所述第二遮挡板的弧长为0.3-0.5m。

3.如权利要求1所述的遮挡板组件，其特征在于，所述滚珠组件还包括固定件以及用于连接所述滚珠和所述固定件的连接件，所述固定件具有通孔，所述连接件设置于所述通孔内，所述滚珠可转动地设置于所述通孔的一端，所述固定件固定设置于所述第一遮挡板或者所述第二遮挡板预设的凹槽内，所述滚珠的滚珠面突出于所在遮挡板的搭接面。

4.如权利要求1所述的遮挡板组件，其特征在于，所述搭接面设置于所述第一遮挡板或者所述第二遮挡板的内侧面的端部，所述搭接面与外侧面之间的距离尺寸小于内侧面到外侧面之间的距离尺寸。

5.一种磁控溅射设备，所述磁控溅射设备包括成模基板、靶材结构以及设置于所述成模基板和所述靶材结构之间的遮挡板组件，其特征在于，所述遮挡板组件为根据权利要求1至4中任一项所述的遮挡板组件，所述遮挡板组件形成闭环结构。

6.如权利要求5所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述磁控溅射设备还包括报警装置，所述报警装置设置于所述第一遮挡板或者所述第二遮挡板的外侧，所述报警装置设置为与搭接面相对，以在所述报警装置相邻的遮挡板变形的情况下，所述报警装置发出警报。

7.如权利要求6所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述报警装置包括电源和分别与所述电源相连的第一电路和第二电路，所述第一电路上设置有第一电阻和报警器，所述第二电路设置有第二电阻，所述第二电阻选择性接通所述第二电路，所述报警装置相邻的遮挡板变形的情况下，所述第二电路导通，所述报警装置发出警报。

8.如权利要求7所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述报警器包括电流监测件和显示器件，所述第二电路导通，所述电流监测件的电流发生变化，并通过所述显示器件显示。

9.如权利要求7所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述报警器包括电流监测件和发声装置，所述第二电路导通，所述电流监测件的电流发生变化，所述发声装置发出警报。