[发明专利]一种单晶掺镓硅片及其制备方法和太阳电池在审
| 申请号: | 201810084083.5 | 申请日: | 2018-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN108364999A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
| 发明(设计)人: | 李华;靳玉鹏 | 申请(专利权)人: | 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/16;H01L29/167 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 张弘 |
| 地址: | 225314 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制备 镓元素 硅片 单晶 单晶硅 单晶硅片 立方厘米 光衰 电池 | ||
1.一种单晶掺镓硅片,其特征在于:所述的单晶硅片中掺杂有镓元素,镓元素的浓度为1×1013~1×1017个原子/立方厘米,单晶硅片的导电类型为p型。
2.根据权利要求1所述的单晶掺镓硅片,其特征在于,所述的单晶硅片中氧含量≤9×1017个原子/立方厘米。
3.根据权利要求1所述的单晶掺镓硅片,其特征在于,所述的单晶硅片的碳含量≤1×1017个原子/立方厘米。
4.根据权利要求1所述的单晶掺镓硅片,其特征在于,所述的单晶硅片的位错密度≤500个/平方厘米。
5.根据权利要求1所述的单晶掺镓硅片,其特征在于,所述的单晶硅片的电阻率为0.2~6.0ohm·cm。
6.根据权利要求1所述的单晶掺镓硅片,其特征在于,所述的单晶硅片的少数载流子寿命≥15μs。
7.根据权利要求1所述的单晶掺镓硅片,其特征在于,所述的单晶硅片的形状为四角倒圆弧的正方形,圆弧直径b为200~250mm,正方形对边距a为125mm~180mm;单晶硅片的厚度为80~200μm。
8.根据权利要求1所述的单晶掺镓硅片,其特征在于,所述的单晶硅片还掺杂有硼元素,硼元素的掺杂浓度为1×1013~1×1017个原子/立方厘米。
9.权利要求1至8任意一项所述的单晶掺镓硅片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将包含有多晶硅料和镓材料的坩埚置于拉晶炉中;
2)加热使得材料融化;
3)进行拉晶,形成单晶晶棒;
4)将单晶晶棒进行切割、清洗,完成单晶掺镓硅片的制备。
10.一种太阳电池,其特征在于,所述的太阳电池的硅基体采用权利要求1至8任意一项所述的单晶掺镓硅片。
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