[发明专利]一种微小孔粗糙度的检测方法

权利要求书

1.一种微小孔粗糙度的检测方法，其特征是，具体步骤如下：

步骤一. 切割（2）：对被测样品（101）进行线切割，所述切割方向为沿着微小孔的轴向进行切割，切割时避免将微小孔的内壁裸露出来；

步骤二. 镶嵌（3）：将被测样品（101）嵌于冷镶嵌模具（301）中，使被测样品（101）微小孔的切割面（201）朝上放置；

步骤三. 磨削（4）：使用金相砂纸，磨削切割面（201）至微小孔的内壁完全显露；

步骤四. 抛光（5）：使用抛光布，对切割面（201）进行抛光，抛光时要使切割面（201）到微小孔的孔壁（501）底端的高度H为原孔直径的1/3~1/2；

步骤五. 清洗（6）：对被测样品（101）微小孔的孔壁（501）进行刷洗，然后清洗去除微小孔的孔壁（501）及切割面（201）的油渍；

步骤六. 轮廓扫描（7）：采用白光干涉法进行轮廓扫描，a、首先将处理后的被测样品（101）放置于白光测量仪物镜下；b、在抛光表面调节出干涉条纹，并设置扫描距离，所述扫描距离大于H；c、从抛光表面扫描至被测样品（101）微小孔的孔壁（501），扫描出被测样品（101）微小孔的孔壁（501）的轮廓；d、进行微小孔粗糙度的测量；

步骤七. 结果评定（8）：根据白光干涉法轮廓扫描结果，确定合适的粗糙度轮廓线，按照粗糙度评定方法对被测样品（101）微小孔进行粗糙度的评定。

2.根据权利要求1所述的一种微小孔粗糙度的检测方法，其特征是，所述步骤一中为了防止切割时微小孔的孔壁（501）被切割液污染，线切割时的切割面（201）与被测孔壁之间间距不小于0.5mm。

3.根据权利要求1所述的一种微小孔粗糙度的检测方法，其特征是，所述步骤二中冷镶嵌模具的厚度不超过切割面（201）到微小孔的孔壁（501）底端的高度H。

4.根据权利要求1所述的一种微小孔粗糙度的检测方法，其特征是，所述步骤五中采用超声波清洗，清洗过程为，在超声清洗机中，采用碳氢清洗液清洗不少于5min。

5.根据权利要求1所述的一种微小孔粗糙度的检测方法，其特征是，所述步骤六中白光测量仪的采样区间小于2μm。

6.根据权利要求1所述的一种微小孔粗糙度的检测方法，其特征是，所述步骤六中调节干涉条纹的过程为，光源发出白光经透镜后聚集成为平行光，再经过干涉显微镜系统的分光镜分成两束，一束光射向被测样品（101）微小孔的孔壁（501）后反射，另一束光射到参考镜上被反射，两束反射光汇合于分光镜上，在分光镜表面发生干涉，两束光相互干涉，在相机感光面会产生明暗相间的干涉条纹。

7.根据权利要求1所述的一种微小孔粗糙度的检测方法，其特征是，所述步骤六中的扫描测量过程为，通过压电陶瓷驱动显微物镜在垂直方向均匀连续运动，运动过程中参考光路与测量光路的光程差也在连续改变，进而定位出每个像素点的零光程差位置，得到相应的高度信息，完成测量。