[发明专利]并联驱动式压电粘滑直线马达及其驱动方法在审
| 申请号: | 201810081802.8 | 申请日: | 2018-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN108173453A | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
| 发明(设计)人: | 程廷海;唐晚静;卢晓晖;陈茜炎;贾荣;曹展豪 | 申请(专利权)人: | 长春工业大学 |
| 主分类号: | H02N2/06 | 分类号: | H02N2/06;H02N2/04 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 130012 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 驱动组件 斜梯形 压电 燕尾 粘滑 马达 并联驱动 滑动组件 输出推力 驱动 光学精密仪器 半导体加工 位移调节器 侧向位移 精密驱动 驱动模式 锁紧螺钉 综合调控 单定子 非对称 限位条 正压力 急停 输出 应用 | ||
1.一种并联驱动式压电粘滑直线马达,其特征在于:该并联驱动式压电粘滑直线马达由斜梯形驱动组件(1)、锁紧螺钉(2)、基座(3)、燕尾平台位移调节器(4)、燕尾平台(5)、燕尾平台限位条(6)和滑动组件(7)组成;所述两个斜梯形驱动组件(1)并联固定在燕尾平台(5)上,所述锁紧螺钉(2)安装在燕尾平台(5)对应螺纹孔内,所述燕尾平台位移调节器(4)安装在基座(3)后端部,所述燕尾平台(5)安装在基座(3)上且限定在燕尾平台限位条(6)内,所述燕尾平台限位条(6)固定在基座(3)上,所述滑动组件(7)安装在基座(3)前端部。
2.根据权利要求1所述的一种并联驱动式压电粘滑直线马达,其特征在于:所述斜梯形驱动组件(1)包括单垫片(1-1)、矩形结构铰链(1-2)、基米螺钉(1-3)、铰链固定螺栓(1-4)和压电叠堆(1-5);所述单垫片(1-1)和基米螺钉(1-3)将压电叠堆(1-5)固定在矩形结构铰链(1-2)内;所述矩形结构铰链(1-2)采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料;所述矩形结构铰链(1-2)两侧设置有刚性连接横梁(1-2-1);所述矩形结构铰链(1-2)后端部设置有铰链固定螺栓安装孔(1-2-2),通过铰链固定螺栓(1-4)与铰链安装螺纹孔(5-3)的螺纹连接将矩形结构铰链(1-2)直接固定在燕尾平台(5)上;所述矩形结构铰链(1-2)尾部设置有基米螺钉安装螺纹孔(1-2-3),基米螺钉(1-3)安装在基米螺钉安装螺纹孔(1-2-3)内;所述矩形结构铰链(1-2)设置有垫片限位槽(1-2-4),所述垫片限位槽(1-2-4)与单垫片(1-1)接触;所述矩形结构铰链(1-2)两侧设置有几何形柔性铰链(1-2-5),所述同侧的几何形柔性铰链(1-2-5)通过刚性连接横梁(1-2-1)进行连接;所述矩形结构铰链(1-2)前端部设置有斜梯形横梁(1-2-6);所述矩形结构铰链(1-2)顶部设置有半圆形驱动足(1-2-7)。
3.根据权利要求1所述一种并联驱动式压电粘滑直线马达,其特征在于:所述基座(3)包括燕尾平台限位条安装凹槽(3-1)、燕尾平台安装平面(3-2)、燕尾平台位移调节器安装螺纹孔(3-3)、基座安装孔(3-4)、垫块(3-5)、导轨安装平面(3-6)、导轨限位凸台(3-7)和导轨安装螺纹孔(3-8);所述燕尾平台限位条安装凹槽(3-1)与燕尾平台限位条凸台(6-2)间隙配合;所述燕尾平台安装平面(3-2)与燕尾平台滑行面(5-5)接触;所述燕尾平台位移调节器安装螺纹孔(3-3)安装燕尾平台位移调节器(4);所述基座安装孔(3-4)可与其他外围装置进行固定;所述垫块(3-5)可与其他外围装置进行接触;所述导轨安装平面(3-6)和导轨安装螺纹孔(3-8)固定安装滑动组件(7);所述导轨限位凸台(3-7)限定滑动组件(7)的安装位置。
4.根据权利要求1所述一种并联驱动式压电粘滑直线马达,其特征在于:所述燕尾平台位移调节器(4)包括解耦球头(4-2)和手动调节螺杆(4-1);所述手动调节螺杆(4-1)的外螺纹与燕尾平台位移调节器安装螺纹孔(3-3)的内螺纹进行螺纹连接配合;所述解耦球头(4-2)与位移调节器凹槽(5-7)接触。
5.根据权利要求1所述一种并联驱动式压电粘滑直线马达,其特征在于:所述燕尾平台(5)包括锁紧螺钉安装螺纹孔(5-1)、位移调节器挡板(5-2)、铰链安装螺纹孔(5-3)、铰链安装平面(5-4)、燕尾平台滑行面(5-5)、燕尾斜面(5-6)和位移调节器凹槽(5-7);所述锁紧螺钉安装螺纹孔(5-1)安装锁紧螺钉(2);所述锁紧螺钉(2)通过锁紧螺钉安装螺纹孔(5-1)后,与燕尾平台安装平面(3-2)接触;所述位移调节器挡板(5-2)设置在燕尾平台(5)的后端部,与铰链安装平面(5-4)垂直;所述铰链安装螺纹孔(5-3)和铰链安装平面(5-4)固定安装矩形结构铰链(1-2);所述燕尾平台滑行面(5-5)与燕尾平台安装平面(3-2)接触;燕尾斜面(5-6)与燕尾平台限位平面(6-1)接触;所述位移调节器凹槽(5-7)与燕尾平台位移调节器(4)接触。
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