[发明专利]一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置和方法在审

专利信息
申请号: 201810081535.4 申请日: 2018-01-29
公开(公告)号: CN108103477A 公开(公告)日: 2018-06-01
发明(设计)人: 葛强;李发业 申请(专利权)人: 珠海中纳金刚石有限公司
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 俞梁清
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 瞄准镜 热丝 模具 化学气相沉积 模具固定架 对准装置 自动中心 热丝CVD 安装架 定位架 内孔 歪斜 活动设置 生产效率 同一轴线 外侧设置 成品率 有效地 穿过 生产
【权利要求书】:

1.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,包括机架,其特征在于:所述机架上设置有模具固定架,所述模具固定架的两侧均设置有热丝定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架,所述瞄准镜安装架上活动设置有瞄准镜。

2.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述模具固定架上设置有容模具放置的V型槽或楔形槽。

3.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述热丝定位架包括弹簧定位架和压片定位架。

4.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述弹簧定位架包括两侧的竖杆,架设在竖杆之间的横杆,架设在横杆前方的弹簧。

5.根据权利要求4所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述横杆上还套设有定位环,所述定位环的圆周面上设置有容热丝卡入的限位槽。

6.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述压片定位架包括竖直设置的立杆,所述立杆上套设有上压片和下压片,所述立杆上还螺纹连接有锁紧螺母,所述锁紧螺母分别位于上压片和下压片的上下表面。

7.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准方法,其特征在于:包括以下步骤,

1)将模具放置在模具固定架上,将瞄准镜放置在瞄准镜安装架上;

2)调节瞄准镜的位置,将模具作为靶子,模具内孔作为靶心,找到模具的内孔中心位置;

3)将热丝穿过模具的内孔中心,热丝的两端固定在两侧的热丝定位架上;

4)继续利用瞄准镜进行校准,调节热丝的位置,使得热丝与模具的内孔中心完全对齐;

5)热丝位置调整完成后,固定热丝位置。

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