[发明专利]一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置和方法在审
申请号: | 201810081535.4 | 申请日: | 2018-01-29 |
公开(公告)号: | CN108103477A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 葛强;李发业 | 申请(专利权)人: | 珠海中纳金刚石有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 俞梁清 |
地址: | 519000 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 瞄准镜 热丝 模具 化学气相沉积 模具固定架 对准装置 自动中心 热丝CVD 安装架 定位架 内孔 歪斜 活动设置 生产效率 同一轴线 外侧设置 成品率 有效地 穿过 生产 | ||
1.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,包括机架,其特征在于:所述机架上设置有模具固定架,所述模具固定架的两侧均设置有热丝定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架,所述瞄准镜安装架上活动设置有瞄准镜。
2.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述模具固定架上设置有容模具放置的V型槽或楔形槽。
3.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述热丝定位架包括弹簧定位架和压片定位架。
4.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述弹簧定位架包括两侧的竖杆,架设在竖杆之间的横杆,架设在横杆前方的弹簧。
5.根据权利要求4所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述横杆上还套设有定位环,所述定位环的圆周面上设置有容热丝卡入的限位槽。
6.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述压片定位架包括竖直设置的立杆,所述立杆上套设有上压片和下压片,所述立杆上还螺纹连接有锁紧螺母,所述锁紧螺母分别位于上压片和下压片的上下表面。
7.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准方法,其特征在于:包括以下步骤,
1)将模具放置在模具固定架上,将瞄准镜放置在瞄准镜安装架上;
2)调节瞄准镜的位置,将模具作为靶子,模具内孔作为靶心,找到模具的内孔中心位置;
3)将热丝穿过模具的内孔中心,热丝的两端固定在两侧的热丝定位架上;
4)继续利用瞄准镜进行校准,调节热丝的位置,使得热丝与模具的内孔中心完全对齐;
5)热丝位置调整完成后,固定热丝位置。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的