[发明专利]一种板结构表面缺陷无损检测方法在审
| 申请号: | 201810080580.8 | 申请日: | 2018-01-28 |
| 公开(公告)号: | CN108375630A | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
| 发明(设计)人: | 龚裕;张海峻;吕炎;吴斌;何存富 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
| 主分类号: | G01N29/04 | 分类号: | G01N29/04;G01N29/06;G01N29/07;G01N29/22 |
| 代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 沈波 |
| 地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 表面波传感器 结构表面 回波数据 回波信号 无损检测 传感器 种板 表面波传播 传感器阵列 检测灵敏度 移动传感器 表面缺陷 成像算法 待测区域 缺陷成像 缺陷检测 线型阵列 板结构 全聚焦 耦合剂 对板 共线 上传 涂抹 成像 采集 计算机 检测 重复 | ||
1.一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:该方法包括以下步骤,
步骤1)、将八个表面波传感器按线型阵列布置,并通过涂抹耦合剂安装在板结构表面指定区域;
步骤2)、使八个表面波传感器中的1号表面波传感器激励,全部八个传感器接收并获得8个回波信号;
步骤3)、依次使阵列中的各表面波传感器分别激励,重复上述采集过程并获得共六十四个回波信号;
步骤4)、将六十四个回波信号的回波数据上传至计算机,采用全聚焦成像算法对这六十四组回波数据进行处理,得到检测区域缺陷成像结果即可判断是否存在表面缺陷。
2.根据权利要求1所述的一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:检测开始前,需根据板结构待检测区域的尺寸,设计用于检测的表面波传感器,确定晶片尺寸和频率,并制作表面波传感器。
3.根据权利要求1所述的一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:传感器阵列包括八个相同的梳状压电表面波传感器,检测范围覆盖全部待检测区域。
4.根据权利要求3所述的一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:所述梳状压电表面波传感器,用于提供检测所需的表面波信号和接收回波信号;梳状压电表面波传感器包括:压电元件、阻尼层、保护层、环氧树脂框架、磁铁、正电极导线和负电极导线,环氧树脂框架的底部设置有保护层,磁铁对称安装在环氧树脂框架上;阻尼层设置在磁铁的中间,阻尼层的底部设有压电元件;正电极导线和负电极导线与压电元件连接。
5.根据权利要求4所述的一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:阻尼层的作用是吸收晶片背面发出的超声波,降低表面波信号余振,提升传感器的声学衰减性能;采用3D打印技术制作环氧树脂材料框架,在传感器底面喷涂一层清漆作为保护层。
6.根据权利要求4所述的一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:传感器采用双压电元件模式,压电元件尺寸宽度范围3~8mm,长度范围5~25mm,厚度范围1~5mm,两压电元件尺寸相同。
7.根据权利要求4所述的一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:传感器频率范围0.5MHz~1MHz。
8.根据权利要求4所述的一种板结构表面缺陷无损检测方法,其特征在于:表面波传感器阵列按线型布置,阵列间距范围5~25mm。
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