[发明专利]除泡装置及除泡方法在审
申请号: | 201810080269.3 | 申请日: | 2018-01-27 |
公开(公告)号: | CN108296134A | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 谢锐 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传输通道 液体材料 破裂 出液通道 除泡装置 进液通道 残留 除泡 去除 加热 真空吸附力 传输 加热单元 加热搅拌 气泡清除 气体膨胀 倾斜设置 液体传输 粘稠液体 再利用 粘稠度 制程 上游 | ||
1.一种除泡装置,其特征在于,包括上游的进液通道(10)、下游的出液通道(20)、设于所述进液通道(10)与所述出液通道(20)之间以传输粘稠液体(L)的传输通道(30)以及用于对所述传输通道(30)加热的第一加热单元(40),所述传输通道(30)相对于水平面倾斜设置。
2.根据权利要求1所述的除泡装置,其特征在于,还包括用于抽真空的第一抽气装置(M1),所述传输通道(30)设于真空腔体内并与所述第一抽气装置(M1)连通。
3.根据权利要求1所述的除泡装置,其特征在于,所述第一抽气装置(M1)的抽气管口设于所述传输通道(30)上方。
4.根据权利要求1-3任一所述的除泡装置,其特征在于,还包括设于所述传输通道(30)下游并分别与所述传输通道(30)、所述出液通道(20)连通的沉降池(50),且所述沉降池(50)的底面低于所述传输通道(30)的下游端。
5.根据权利要求4所述的除泡装置,其特征在于,所述第一加热单元(40)还对所述沉降池(50)进行加热。
6.根据权利要求5所述的除泡装置,其特征在于,所述第一加热单元(40)包括加热源(41)和导热层(42),所述导热层(42)覆盖于所述传输通道(30)和所述沉降池(50)外表面,所述加热源(41)用于对所述导热层(42)加热。
7.根据权利要求4所述的除泡装置,其特征在于,所述沉降池(50)设于真空腔体内,并连接有用于抽真空的抽气装置。
8.根据权利要求4所述的除泡装置,其特征在于,还包括搅拌机构(60),所述搅拌机构(60)伸入所述沉降池(50)内,用于对所述沉降池(50)内的液体进行搅拌。
9.根据权利要求8所述的除泡装置,其特征在于,还包括第二加热单元(70),所述第二加热单元(70)与所述搅拌机构(60)连接,以对所述搅拌机构(60)加热。
10.一种除泡方法,其特征在于,使用权利要求1-9任一所述的除泡装置,液体(L)自所述进液通道(10)注入后沿所述进液通道(10)流动,自所述出液通道(20)流出。
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