[发明专利]一种晶界电学特性的表征方法在审
| 申请号： | 201810077279.1 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108254399A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 孙翊;李飘飘;刘畅;蒲华燕;罗均;彭艳;谢少荣;刘娜;杨扬;刘媛媛 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01N23/2206 | 分类号： | G01N23/2206 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 201900*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 实时图像 晶粒 电学特性 晶粒结构 氧化锌 晶界 种晶 氧化锌压敏陶瓷 电学特性曲线 输入神经网络 阻抗分析仪 纳米探针 扫描电镜 施加电流 实时获取 微观特性 微观图像 自动表征 研究 | ||
1.一种晶界电学特性的表征方法，其特征在于，包括：
利用扫描电镜实时获取氧化锌样品的微观图像，得到实时图像；
将所述实时图像输入神经网络，识别出晶粒-晶界-晶粒结构；
利用纳米探针依次对所述实时图像中的每个所述晶粒-晶界-晶粒结构施加电流，利用阻抗分析仪获取电信号，得到所述氧化锌样品的电学特性曲线。
2.根据权利要求1所述的一种晶界电学特性的表征方法，其特征在于，对所述神经网络进行训练的过程具体为：
利用扫描电镜获取氧化锌样品的多幅微观图像，得到多幅训练图像；
对每幅所述训练图像进行特征点提取和特征距离的计算，得到每幅图像的晶粒-晶界-晶粒结构；
将多幅所述训练图像和每幅所述训练图像的晶粒-晶界-晶粒结构输入到所述神经网络中，利用所述神经网络进行训练。
3.根据权利要求2所述的一种晶界电学特性的表征方法，其特征在于，在所述利用扫描电镜获取氧化锌样品的多幅微观图像，得到多幅训练图像之后，在所述对每幅所述训练图像进行特征点提取和特征距离的计算，得到每幅图像的晶粒-晶界-晶粒结构之前，还包括：
对每幅所述训练图像进行二值化处理。
4.根据权利要求1所述的一种晶界电学特性的表征方法，其特征在于，在所述利用扫描电镜实时获取氧化锌样品的微观图像，得到实时图像之前，还包括：
将装有纳米探针的纳米操作系统安装在扫描电镜的真空室中；
将所述氧化锌样品放置在所述真空室内的样品台上。
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