[发明专利]搬送机构

权利要求书

1.一种搬送机构，其将晶片搬送至卡盘工作台上，该搬送机构具有：

保持单元，其对晶片的外周部进行保持；以及

移动单元，其使该保持单元在铅垂方向和水平方向上移动，

该搬送机构的特征在于，

该保持单元具有：

多个爪部件，它们对晶片的外周部进行保持；

爪部件动作单元，其使该多个爪部件在该多个爪部件与晶片的外周部分离的待机位置和该多个爪部件相互在径向上接近而对晶片的外周部进行保持的作用位置之间分别独立地在径向上进行动作；

驱动负荷检测单元，其对该爪部件动作单元的驱动负荷分别进行检测；

位置检测单元，其对各该爪部件的位置分别进行检测；以及

控制单元，其至少对该爪部件动作单元进行控制，

该控制单元具有：

存储部，其存储各该爪部件与晶片的外周部抵接时的该爪部件动作单元的驱动负荷的值作为阈值；以及

计算部，当该驱动负荷检测单元检测到超过了该阈值的驱动负荷时，各该爪部件停止，该计算部根据该位置检测单元所检测到的各该爪部件的位置计算出晶片中心位置，

该保持单元所保持的晶片按照将由该计算部计算出的该晶片中心位置定位于卡盘工作台中心位置的方式被载置于该卡盘工作台上。