[发明专利]传感体及其制备方法

权利要求书

1.一种传感体，其特征在于，包括：柔软材料密封腔体、压电薄膜；

所述压电薄膜上设置一个或多个垂直穿透所述压电薄膜的过孔；所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜紧密粘合，并于所述过孔处设置辅助固定件，以辅助固定所述压电薄膜。

2.根据权利要求1所述的传感体，其特征在于，还包括：绝缘避空位；

所述绝缘避空位均匀分布于所述过孔的周围，所述绝缘避空位为在所述压电薄膜基材上未涂覆导电层的区域。

3.根据权利要求2所述的传感体，其特征在于，所述过孔为正圆形，所述绝缘避空位为与所述过孔相同圆心的圆环区域，所述圆环的宽度范围为：0.5mm至1mm。

4.根据权利要求1所述的传感体，其特征在于，所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜通过黏胶紧密粘合，所述辅助固定件为黏胶穿越所述过孔凝固而成的粘合体。

5.根据权利要求1所述的传感体，其特征在于，所述柔软材料密封腔体由所述柔性材料的成型原料注塑而成，所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜通过所述成型原料紧密粘合，所述辅助固定件为穿越所述过孔的所述成型原料凝固而成的粘合体。

6.根据权利要求1所述的传感体，其特征在于，所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜通过黏胶紧密粘合，所述辅助固定件为穿越所述过孔的柱状体，所述柱状体平行于所述压电薄膜的端面通过黏胶与所述柔软材料密封腔体的内壁紧密粘合。

7.根据权利要求1所述的传感体，其特征在于，还包括：一个或多个第一透气孔；所述第一透气孔位于所述辅助固定件上，且以垂直所述压电薄膜所在平面的方向穿透所述传感体，所述第一透气孔的横截面区域位于所述过孔的横截面区域内。

8.根据权利要求7所述的传感体，其特征在于，还包括：一个或多个第二透气孔；

所述第二透气孔位于所述传感体上未部署压电薄膜区域，且以垂直所述压电薄膜所在平面的方向穿透所述传感体。

9.一种传感体的制备方法，包括权利要求1-8中任一项所述的传感体，其特征在于，包括：

在压电薄膜上加工一个或多个垂直穿过所述压电薄膜的过孔；

用柔性材料紧密包裹带过孔的压电薄膜，使所述压电薄膜处于由所述柔性材料密封的腔体内，且所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜紧密粘合，并在包裹过程中于所述过孔处设置辅助固定件，以辅助固定所述压电薄膜。

10.根据权利要求9所述的传感体的制备方法，其特征在于，所述在压电薄膜上加工一个或多个垂直穿过所述压电薄膜的过孔的步骤，包括：

在所述基材平面的两侧分别涂覆导电层，并与所述基材平面的单侧或双侧设置一个或多个未涂覆导电层的绝缘避空位；

在所述绝缘避空位上加工垂直穿过所述基材平面的过孔。

11.根据权利要求9所述的柔软材料固定压电薄膜的方法，其特征在于，所述用柔性材料紧密包裹带过孔的压电薄膜，使所述压电薄膜处于由所述柔性材料密封的腔体内，且所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜紧密粘合，并在包裹过程中于所述过孔处设置辅助固定件，以辅助固定所述压电薄膜的步骤，包括：

使用指定尺寸的片状柔性材料包裹住带过孔的所述压电薄膜；

粘合所述柔性材料与所述压电薄膜的接触面，并在所述过孔处通过黏胶凝固形成辅助固定件；

粘合所述柔性材料首尾衔接处，以形成放置所述压电薄膜的密封腔体。

12.根据权利要求9所述的柔软材料固定压电薄膜的方法，其特征在于，所述用柔性材料紧密包裹带过孔的压电薄膜，使所述压电薄膜处于由所述柔性材料密封的腔体内，且所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜紧密粘合，并在包裹过程中于所述过孔处设置辅助固定件，以辅助固定所述压电薄膜的步骤，包括：

将所述带过孔的压电薄膜放入指定模腔内；

向所述模腔内注入所述柔性材料的成型原料，所述成型原料完全包裹住所述压电薄膜，并固化所述成型原料，以形成放置所述压电薄膜的密封腔体，且在过孔处形成所述辅助固定件。