[发明专利]掩模清洗液组合物在审
| 申请号： | 201810073872.9 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108424818A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 金圣植;金正铉;房淳洪;高京俊;赵汉爀 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/32 | 分类号： | C11D7/32;C11D7/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗液组合物 掩模 不饱和烃基 烷氧基取代 非取代 酰胺系化合物 甲基或乙基 饱和烃基 环境管制 清洗力 饱和 运转 | ||
1.一种掩模清洗液组合物，其包含下述化学式1所表示的酰胺系化合物：
化学式1
所述化学式1中，
R1和R2各自独立地为甲基或乙基，
R3为氢、或者被C1～C4的烷氧基取代或非取代的C1～C4的饱和或不饱和烃基，
其中，当R1和R2为甲基时，R3为被C1～C4的烷氧基取代或非取代的C2～C4的饱和烃基或C2～C4的不饱和烃基。
2.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，所述化学式1所表示的酰胺系化合物为选自由N,N-二甲基丙酰胺、N,N-二甲基异丁酰胺、N,N-二甲基丙烯酰胺、N,N-二甲基甲基丙烯酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二乙基丙酰胺、N,N-二乙基异丁酰胺、N,N-二乙基丙烯酰胺、N,N-二乙基甲基丙烯酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺组成的组中的一种以上。
3.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，其进一步包含水溶性极性溶剂。
4.根据权利要求3所述的掩模清洗液组合物，所述水溶性极性溶剂包含选自由质子性极性溶剂和非质子性极性溶剂组成的组中的一种以上。
5.根据权利要求3所述的掩模清洗液组合物，相对于所述掩模清洗液组合物整体100重量份，所述水溶性极性溶剂的含量为1～50重量份。
6.根据权利要求1所述的掩模清洗液组合物，所述掩模清洗液组合物用于清洗有机材料真空蒸镀工序中所使用的掩模。
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