[发明专利]高光谱分辨率干涉仪有效

专利信息
申请号: 201810073580.5 申请日: 2018-01-25
公开(公告)号: CN110081979B 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 张志勇
主分类号: G01J3/45 分类号: G01J3/45;G02B26/00
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨;李林
地址: 100120 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 光谱 分辨率 干涉仪
【权利要求书】:

1.一种高光谱分辨率干涉仪,包括分束器以及位于分束器入光方向的光源,还包括分别位于分束器的反射出光方向与透射出光方向的反射光往返光路与透射光往返光路,返回的反射光与返回的透射光在所述分束器汇合后,在分束器一侧的出光孔处被收集,其特征在于:

在反射光往返光路和/或透射光往返光路上设有N个移动角镜单元与N-1个固定角镜单元,N为大于或等于2的整数;

所述N个移动角镜单元顺序排列,所述N-1个固定角镜单元分别与所述N个移动角镜单元的邻接位置呈相对布置,能够将位于头端的移动角镜单元的出射光顺序反射到位于尾端的移动角镜单元,还能够将位于尾端的移动角镜单元返回的出射光顺序反射到位于头端的移动角镜单元;

所述N个移动角镜单元能够相对所述N-1个固定角镜单元平行移动,以使所述返回的反射光与返回的透射光之间产生光程差;

其中,还包括:

第一固定平面反射镜与第二固定平面反射镜,分别设置在分束器的反射出光方向与透射出光方向;

第一可移动角镜组,具有顺序排列的N个第一移动角镜单元,位于头端的第一移动角镜单元与所述第一固定平面反射镜的出射光相接;

第二可移动角镜组,具有顺序排列的N个第二移动角镜单元,位于头端的第二移动角镜单元与所述第二固定平面反射镜的出射光相接,所述第一可移动角镜组与第二可移动角镜组能够朝向垂直于所述分束器的平面的方向同步地往返移动;其中,所述第一可移动角镜组和第二可移动角镜组呈反向背靠背地组合在一起;

N-1个第一固定角镜单元,分别与所述N个第一移动角镜单元的邻接位置呈相对布置;

N-1个第二固定角镜单元,分别与所述N个第二移动角镜单元的邻接位置呈相对布置;

第三固定平面反射镜,将所述位于尾端的第一移动角镜单元的出射光沿原路反射回去;

第四固定平面反射镜,将所述位于尾端的第二移动角镜单元的出射光沿原路反射回去。

2.根据权利要求1所述的高光谱分辨率干涉仪,其特征在于:所述第一可移动角镜组和第二可移动角镜组安装在同一个导轨平台上,在所述N-1个第一固定角镜单元和N-1个第二固定角镜单元之间往返移动。

3.根据权利要求1所述的高光谱分辨率干涉仪,其特征在于:所述第一固定平面反射镜与第二平面反射镜以所述分束器的平面为中心呈镜面对称布置。

4.根据权利要求1所述的高光谱分辨率干涉仪,其特征在于:所述第一固定角镜单元与所述第二固定角镜单元以所述分束器的平面为中心呈镜面对称布置。

5.根据权利要求1所述的高光谱分辨率干涉仪,其特征在于:所述第三固定平面反射镜与第四平面反射镜以所述分束器的平面为中心呈镜面对称布置。

6.根据权利要求1所述的高光谱分辨率干涉仪,其特征在于:所述第三固定平面反射镜与第四固定平面反射镜均连接有两维转动精密调节机构,用于调节干涉仪的干涉度。

7.根据权利要求1所述的高光谱分辨率干涉仪,其特征在于:在所述分束器的入光方向还设有离轴抛物镜,用于将所述光源反射为平行光线。

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